HF450/600 熱絲CVD金剛石膜沉積設備
具體成交價以合同協議為準
- 公司名稱 北京泰科諾科技有限公司
- 品牌 其他品牌
- 型號 HF450/600
- 產地 北京昌平
- 廠商性質 生產廠家
- 更新時間 2019/8/8 9:50:30
- 訪問次數 280
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應用領域 | 電子,冶金 |
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1、產品優點及特點:熱絲CVD金剛石膜沉積設備采用熱絲化學氣相沉積技術,已應用于國內多家用熱絲法生產金剛石的生產線上。該設備已生產出大尺寸片狀多晶金剛石厚膜,并獲得了非常可觀的經濟效益。該系列設備適合于工業化生產也非常適合于科研、教學和產品中試之用。
2、主要用途:熱絲CVD金剛石膜沉積設備用于生長毫米級金剛石厚膜、金剛石薄膜、類金剛石膜、氮化硅和氧化硅膜等。在切削*、鉆頭、絲錐等表面沉積金剛石薄膜。
3、技術參數:
型號 | HF450/HF600 |
真空腔室結構 | 立式前開門結構,后置抽氣系統,雙層水冷 |
真空腔室尺寸 | Φ450×H500mm/Φ600×H500mm |
基片臺尺寸 | Φ100mm/Φ200mm |
襯底溫度 | 600~1100℃ |
電源 | DC |
控制方式 | PC+PLC+觸摸屏控制 |
占地面積 | L1200×W1060×H1900mm/L1620×W1060×H1900mm |
總功率 | ≥20KW≥43KW |