化工儀器網(wǎng)>產(chǎn)品展廳>實(shí)驗(yàn)室常用設(shè)備>其它實(shí)驗(yàn)室常用設(shè)備>鍍膜機(jī)>TSU650 多功能磁控離子濺射復(fù)合鍍膜機(jī)
TSU650 多功能磁控離子濺射復(fù)合鍍膜機(jī)
具體成交價(jià)以合同協(xié)議為準(zhǔn)
- 公司名稱 北京泰科諾科技有限公司
- 品牌
- 型號(hào) TSU650
- 產(chǎn)地 北京昌平
- 廠商性質(zhì) 生產(chǎn)廠家
- 更新時(shí)間 2019/8/8 9:50:48
- 訪問次數(shù) 529
產(chǎn)品標(biāo)簽
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| 產(chǎn)地類別 | 國(guó)產(chǎn) | 價(jià)格區(qū)間 | 面議 |
|---|---|---|---|
| 應(yīng)用領(lǐng)域 | 電子,航天,汽車,電氣 |
1、產(chǎn)品特點(diǎn)：配置圓形磁控濺射靶、矩形磁控濺射靶、多弧靶、磁過濾弧源等，兼具磁控、離子鍍等多種功能，適用于有多種鍍膜需求的高校科研單位。
2、主要用途：
?多功能磁控離子濺射復(fù)合設(shè)備可用于制備單層及多層金屬膜、介質(zhì)膜、半導(dǎo)體膜、傳感器膜及耐熱合金膜、硬質(zhì)膜、耐腐蝕膜、DLC等；
?膜層示例：銀、鋁、銅、鎳、鉻、鎳鉻合金、氮化鈦、碳化鈦、氮化鈦鋁、氮化鉻、氧化鈦、氧化鋁、ITO、二氧化硅等；
?多功能磁控離子濺射復(fù)合設(shè)備應(yīng)用于*、模具、電子配件、金屬外殼、陶瓷基片等。
?適合：適合中試及小批量生產(chǎn)及貴金屬精密生產(chǎn)。
?專業(yè)：專業(yè)化、功能化、平臺(tái)化、精細(xì)化設(shè)計(jì)滿足不同功能膜系開發(fā)、制備；全自動(dòng)控制，人性化設(shè)計(jì)更容易操作及工藝重復(fù)性穩(wěn)定。
3、技術(shù)參數(shù)：
| 型號(hào) | TSU650 |
| 真空腔室結(jié)構(gòu) | 立式圓柱形前開門，雙層水冷，多通用法蘭接口 |
| 真空腔室尺寸 | Φ650×H650mm |
| 工件架尺寸 | Φ490mm，4~6工位公/自轉(zhuǎn)工件架 |
| 工件架烘烤溫度 | 室溫～500±5℃，可調(diào)可控（PID控溫） |
| 工件架運(yùn)動(dòng)方式 | 0~5RPM可調(diào) |
| 輔助離子源 | 偏壓、線性離子源輔助（可選） |
| 陰極 | 矩形磁控靶、柱狀靶、平面弧源、磁過濾弧源（可選）國(guó)產(chǎn)進(jìn)口靶或電源可選 |
| 控制方式 | PLC控制/工控機(jī)全自動(dòng)控制（可選） |
| 占地面積 | 主機(jī)L2800×W1200×H1950mm |
| 總功率 | ≥60KW |
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