ZLS-28D/M型氦質譜檢漏儀是一種全新的訂制型氦質譜檢漏儀，儀器內分子泵采用國外*產品，可靠性高。儀器采用計算機程序控制，通過觸摸式顯示屏按人機對話方式進行功能操作，具有自動尋峰、程序控制、大字符漏率顯示，漏率直讀，四種常用漏率單位轉換，檢漏數據存儲、分析、統計及打印等功能，具備高度的智能化程度。該儀器大的優勢在于：可根據用戶需求，通過RS232（或RS485）通信的方式，達到遠程操作以及與服務器數據交換的功能；還可根據用戶自行訂制，*開放人機界面，實時刷新技術協議，從而達到由生產線上的主服務器來統一控制的需求。

 ZLS-28D/M型氦質譜檢漏儀主要技術參數：
儀器的啟動時間：  不大于5min
小可檢漏率：優于5×10^-12Pa.m³/s(負壓法/噴He)；優于1×10^-9Pa.m³/s(正壓法/吸He)
反應時間：  不大3s
質譜室允許工作的高壓強：1×10^-2Pa
測試口允許工作的高壓強：1000Pa
儀器的輪廓尺寸：  640×550×980 mm³
儀器的重量：    約75Kg
       
主要配置：
1.渦輪分子泵----（國外品牌） 1臺
2.前級泵--------（國外品牌） 1臺
3.粗抽泵--------（國外品牌） 1臺 
4.質譜分析室-----------成都儀器廠  1套 
5.電子控制線路及軟件---成都儀器廠  1套
6.控制電磁閥-----------成都儀器廠  1套
7.負壓校準漏孔（帶計量證書 ） 1支
8.工控計算機（研華 15寸觸屏式）1臺
9．噴槍、氣袋---------成都儀器廠 1套
10.吸槍---------------成都儀器廠 1套
11.打印機-------------聯想  1套
    
儀器的使用條件:
環境溫度：＋5℃～＋35℃
環境相對濕度：50～80％
供電電源：220V±22V，功率約為1kVA（用戶配穩壓器佳）
儀器附近無強電磁場干擾