巴魯夫成型外殼內(nèi)的磁致伸縮位移傳感器

（1）*將直線(xiàn)電機(jī)加氣浮導(dǎo)軌的驅(qū)動(dòng)方式應(yīng)用于位移傳感器自動(dòng)化校準(zhǔn)。相對(duì)于傳統(tǒng)的機(jī)械驅(qū)動(dòng)方式，直線(xiàn)電機(jī)不僅能夠直接讓運(yùn)動(dòng)部件作直線(xiàn)運(yùn)動(dòng)，簡(jiǎn)化了設(shè)備結(jié)構(gòu)，不需要中間轉(zhuǎn)換過(guò)程，其動(dòng)態(tài)響應(yīng)性能和重復(fù)定位精度都大大提高，通過(guò)和氣浮導(dǎo)軌配合可使得校準(zhǔn)過(guò)程穩(wěn)定性好。

（2）將標(biāo)準(zhǔn)與被校傳感器置于氣浮導(dǎo)軌兩端，傳感器牽引端與氣吸附滑塊上的運(yùn)動(dòng)端通過(guò)轉(zhuǎn)接裝置相連，激光干涉儀的反射鏡同樣置于滑塊上，校準(zhǔn)時(shí)通過(guò)夾具調(diào)節(jié)使位移傳感器運(yùn)動(dòng)方向與激光干涉儀測(cè)量方向在同一條直線(xiàn)上，實(shí)現(xiàn)阿貝誤差的消除。

（3）基于磁致伸縮測(cè)桿式傳感器校準(zhǔn)設(shè)計(jì)夾具，配合支撐點(diǎn)消除變形的校準(zhǔn)方式，解決了該類(lèi)傳感器校準(zhǔn)過(guò)程中存在的撓度問(wèn)題。后，通過(guò)對(duì)位移傳感器校準(zhǔn)裝置不確定度的評(píng)定和驗(yàn)證，表明該校準(zhǔn)方法準(zhǔn)確、有效、可行。

巴魯夫成型外殼內(nèi)的磁致伸縮位移傳感器

主營(yíng)德國(guó)進(jìn)口備件:巴魯夫BALLUFF

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