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化工儀器網>產品展廳>半導體行業專用儀器>工藝測量和檢測設備>光學薄膜測量設備>FR-portable 便攜式光學膜厚儀

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FR-portable 便攜式光學膜厚儀

具體成交價以合同協議為準
  • 公司名稱 邁可諾技術有限公司
  • 品牌 其他品牌
  • 型號 FR-portable
  • 產地
  • 廠商性質 代理商
  • 更新時間 2024/5/16 21:20:30
  • 訪問次數 5696

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半導體化工領域專業實驗設備供應商:邁可諾是一家富有創新精神的高科技公司,專業提供光電半導體化工實驗室所需設備耗材的全套解決方案提供商,邁可諾從事開發、設計、生產并營銷質量可靠的、安全易用的技術產品及優質專業的服務,幫助我們的客戶和合作伙伴取得成功。我們成功的基礎是幫助客戶做出更好的選擇和決定,尊重他們的決定,并協助他們實現高效率的科研成果,追求豐富有意義的生活。




勻膠機,光刻機,顯影機,等離子清洗機,紫外臭氧清洗機,紫外固化箱,壓片機,等離子去膠機,刻蝕機,加熱板

產地類別 進口 應用領域 醫療衛生,生物產業,電子,航天,汽車

 

便攜式膜厚儀主要由以下系統組成:

Α白熾-LED混合集成式光源系統,通過內嵌式微處理器控制,使用壽命超過20000小時。

小型光譜儀,光譜范圍370nm –1050nm,分辨精度可達3648像素, 16位級 A/D 分辨精度;配有USB通訊接口;

Β) FR-Monitor膜厚測試軟件系統,

可精確計算如下參數:

1)單一或堆積膜層的厚度;

2)靜態或動態模式下,單一膜層的折射率;本軟件包含了類型豐富的材料折射率數據庫,可以有效地協助用戶進行線下或者在線測試分析。本系統可支持吸收率,透射率和反射率的測量,還提供任何堆積膜層的理論性反射光譜,一次使用授權,即可安裝在任何其他電腦上作膜厚測試后的結果分析使用。

C) 參考樣片:

a) 經校準過的反射標準硅片;

b) 經校準過的帶有SiO2/Si 特征區域的樣片;

c) 經校準過的帶有Si3N4/SiO2/Si特征區域的樣片;

D) 反射探針臺和樣片夾具

可處理大的樣品尺寸達200mm, 包含不規則的尺寸等;

手動調節可測量高度可達50mm

可針對更大尺寸訂制樣片夾具;

Ε) 反射率測量的光學探針

內嵌系統6透射光探針200μm, 1組反射光探針200μm;

F) 附件

FR-portable透射率測量套件;

Thickness measurement range

12nm – 90μm

Refractive Index calculation

P

Thickness measurement Accuracy

0.2% or 1nm

Thickness measurement Precision

0.04nm or 1‰ (0.01nm)

Thickness measurement stability

0.02nm

Sample size

1mm to 200mm and up

Spectral Range

400nm – 1100nm

Working distance

3mm-20mm

Spot size

0.35mm (diameter of the reflectance area)

Light Source Lifetime

20000h

Wavelength resolution

0.8nm

Number of Layers Measured

Max. 5 layers

Measurement time (max acquisition speed)

10ms/point

A/D converter

16 bit

Power

USB – supplied

Dimensions

300mm x 110mm x 40mm



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