研究各種各樣的材料，并進(jìn)行結(jié)構(gòu)和成份表征，是目前對掃描電鏡的主流應(yīng)用要求。FEI Quanta FEG系列靈活、通用，足以應(yīng)對當(dāng)今人們廣博的研究方向這一挑戰(zhàn)。“分析任何樣品，得到所有數(shù)據(jù)”，在Quanta FEG上可得到表面像和成份像，并可輔以多種附件來確定材料的性質(zhì)和元素組成。

FEI Quanta 650FEG掃描電鏡是基于前兩代成功的肖特基場發(fā)射環(huán)境掃描技術(shù)開發(fā)的第三代Quanta系列產(chǎn)品。這一系列產(chǎn)品用戶界面使用起來十分方便、靈活，有多種功能很大程度地發(fā)揮其使用效率，并且允許采集所有需要的數(shù)據(jù)。它是電鏡專家設(shè)計(jì)來給電鏡專家使用的儀器，性能遠(yuǎn)不止“簡便易用”。這些功能有：*的圖像導(dǎo)航功能包括蒙太奇圖像導(dǎo)航、鼠標(biāo)雙擊樣品臺移動、鼠標(biāo)拖曳放大居中功能以及其它標(biāo)準(zhǔn)的特色技術(shù)；SmartSCAN，一種智能掃描技術(shù)，能降低信號噪音，提供更好的數(shù)據(jù)；電子束減速模式，一個(gè)新的選項(xiàng)，將鎢燈絲掃描電鏡的低加速電壓性能提高到一個(gè)全新的水平；Nav-Cam彩色圖像導(dǎo)航器及新開發(fā)的探測器也大大增加了其靈活性。

一、主要優(yōu)點(diǎn)

1）FEI Quanta 650FEG掃描電鏡具有環(huán)境掃描技術(shù)的高分辨場發(fā)掃描電鏡

2）在各種操作模式下分析導(dǎo)電和不導(dǎo)電樣品，得到二次電子像和背散射電子像

3）很大程度降低樣品制備要求:低真空/環(huán)境真空技術(shù)使得不導(dǎo)電樣品和/或含水樣品不經(jīng)導(dǎo)電處理即可直接成像和分析，樣品表面無電荷累積現(xiàn)象

4）專業(yè)的“穿過透鏡”的壓差真空系統(tǒng)，對導(dǎo)電和不導(dǎo)電樣品都可進(jìn)行EDS/EBSD分析，不管是在高真空模式或在低真空模式。穩(wěn)定的大束流(大 200 nA)確保能譜及EBSD分析工作的快速、準(zhǔn)確

5）電鏡可作為一個(gè)微觀實(shí)驗(yàn)室。安裝特殊的原位樣品臺后，在從- 165 °C到1500 °C溫度范圍內(nèi)，對多種樣品保持其原始狀態(tài)下進(jìn)行動態(tài)原位分析

6）對導(dǎo)電樣品，可選用減速模式得到表面和成份信息

7)直觀、簡便易用的軟件，即使電鏡新手也能輕易上手

二、典型應(yīng)用:

1、納米表征

1）金屬及合金, 氧化/腐蝕, 斷口, 焊點(diǎn), 拋光斷面, 磁性及超導(dǎo)材料

2）陶瓷, 復(fù)合材料, 塑料

3）薄膜/涂層地質(zhì)樣品斷面, 礦物

4）軟物質(zhì): 聚合物, 藥品, 過濾膜, 凝膠, 生物組織, 木材

5）顆粒, 多孔材料, 纖維

2、原位過程分析

1）增濕/去濕

2）浸潤行為/接觸角分析

3）氧化/腐蝕

4)拉伸 (伴隨加熱或冷卻)

5）結(jié)晶/相變

3、納米原型制備

1）電子束曝光 (EBL)

2）電子束誘導(dǎo)沉積(EBID)

三、主要參數(shù)

1、電子光學(xué)

1）高分辨肖特基場發(fā)射電子槍

2）優(yōu)化的高亮度、大束流鏡筒

3）45°錐度物鏡極靴，及“穿過透鏡”的壓差真空系統(tǒng)，加熱式物鏡光闌

4）加速電壓: 200 V - 30 kV

5）束流: 大200 nA并連續(xù)可調(diào)

6）放大倍數(shù): 6 x 1,000,000 x (四幅圖像顯示)

2、分辨率

1）高真空

30 kV下0.8 nm (STEM)*

30 kV下1.0 nm (SE)

30 kV下2.5 nm (BSE)*

1 kV下3.0 nm (SE)

2）高真空下減速模式*

1 kV下3.0 nm (BSE)*

1 kV下2.3 nm (ICD)*

200 V下3.1 nm (ICD)*

3）低真空

30 kV下1.4 nm (SE)

30 kV下 2.5 nm (BSE)

3 kV下3.0 nm (SE)

4）環(huán)境真空 (ESEM)

30 kV下1.4 nm (SE)

3、檢測器

1）E-T二次電子探頭

2）大視場低真空氣體二次電子探頭 (LFD)

3）氣體二次電子探頭 (GSED)

4）樣品室紅外CCD相機(jī)

5）高靈敏度、低電壓固體背散射探頭*

6）氣體背散射探頭*

7）四分固體背散射探頭*

8）閃爍體型背散射探頭/CLD*

9）vCD (低電壓、高襯度探頭)*

10）鏡筒內(nèi)探頭(ICD)，用于減速模式下二次電子檢測*

11）電子束流檢測器*

12）分析型氣體背散射探頭 (GAD)*

13）STEM探頭*

14）Nav-Cam 光學(xué)相機(jī)彩色成像，用于樣品導(dǎo)航*

15）陰極熒光探測器*

16）能譜*

17）波譜*

18）EBSD*

19）極靴底部安裝四環(huán)分隔式定向型背散射電子探頭 (DBS)