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化工儀器網>產品展廳>半導體行業專用儀器>熱工藝設備/熱處理設備>退火爐>AS-One systems 快速退火爐

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AS-One systems 快速退火爐

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FIRSTNANO成立于2012年,一家由三位材料學博士共同創辦的德國公司。基于 Science is international”的想法,“全球協同實驗室”成為三位博士追逐的夢想。

公司愿景是從科學家到科學家,科學開創美好未來。

FIRSTNANO深耕于半導體技術、材料科學、生命科學等科研領域,始終秉承“前沿、專業、科學”的宗旨,將前沿技術引進到協同實驗室。我們的產品覆蓋了微納加工制程;材料科學的檢測、分析;生命科學成像,腦科學與行為認知等相關領域。作為全球科技前沿的儀器供應商,FIRSTNANO具有全球技術視野、優質供應體系、以及嚴格的質量管控系統,能為客戶提供前沿的技術解決方案。

公司服務的客戶領域廣泛,其中包括消費電子、航空、航天、醫藥技術、半導體行業、光電子行業、高校和研究機構。

在成長的過程中,我們腳踏實地、奮勇向前。自2015年香港(中華區)公司成立以來,我們一相繼在香港、深圳、上海和武漢設立了分支機構。

我們真誠邀請業內英才加入FIRSTNANO TEAM,一起為夢想揚帆起航!





半導體儀器和電子產品耗材耗材

產地類別 進口

 

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AS-One系統有兩種型號: AS-One 100 系統或AS-One 150 系統

快速退火爐是專門為滿足大學、研究實驗室和小規模生產的需求而研制的,高可靠且性價比高。

 

該工藝室采用貝殼式設計,可*進入底板,方便裝載和卸載基板,并允許實際清潔腔體

 

快速數字PID溫度控制器在整個溫度范圍內提供精確和可重復的熱控制。

 

特征
基本尺寸:

Up to 直徑100 mm (4-inch) for AS-One 100 

Up to 直徑150 mm (6-inch) for AS-One 150 

Small substrates using susceptors

工藝腔體運用不銹鋼冷腔室壁技術
溫度范圍標準配置:高達到1250°C

高溫配置:高達到1450°C

溫度控制

標準配置:熱電偶和高溫計用來測量溫度

快速數字PID溫度控制器在可獲得精確的和可重復的熱控制

真空和氣體多可達5路帶MFC的工藝氣體,一路清潔氣體
電腦控制

全PC電腦控制,每個配方多100步驟

全數據記錄與處理歷史的人機界面設計

選項:

石墨托盤/碳化硅涂層托盤/粗真空泵和渦輪泵/快速冷卻系統/其他套件

 

 

應用

 

 

我公司專業銷售Annealsys產品,并提供Annealsys產品的售前售后服務,如您對Annealsys產品感興趣,歡迎前來咨詢!

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