光刻機，鍍膜機，磁控濺射鍍膜儀，電子束蒸發鍍膜儀，開爾文探針系統(功函數測量)，氣溶膠設備，氣溶膠粒徑譜儀，等離子增強氣相沉積系統(PECVD)，原子層沉積系統(ALD)，快速退火爐，氣溶膠發生器，稀釋器，濾料測試系統
| 產地類別 | 進口 |
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便攜式粒徑譜儀-氣溶膠設備（德國）
便攜式粒徑譜儀
Fidas Frog系統提供不同型號用于不同應用，實現低成本可靠測量室內外的環境質量(IDQ/ODQ)。所有Fidas®系統采用已證實的白光LED作為光源的光學散射測量技術，具有穩定的輸出和更長的使用壽命。所有系統包括一個可插入式過濾器（直徑47或50毫米）的接口。因此進行氣溶膠組成成分的化學分析也是可能的。
此Fidas®300和Fidas®310型號的氣溶膠操作流量是2.3立方米/ 小時，并放置在一個IP65的環境保護室內。
此Fidas®300和Fidas®310型號配備根據EN14907的PM2.5取樣頭和根據EN12341的PM10取樣頭。
這兩個型號裝備一個智能的氣溶膠干燥系統（IADS），以及環境溫度，空氣壓力和相對濕度的測量傳感器。氣溶膠干燥系統（IADS）是防止因高濕度造成的粒子測量錯誤。
另外，Fidas®310裝有傳感器用于測量風向、風速以及降水量。也可記錄GPS數據。
對于此裝置，Palas ®提供遠程維護和數據在線訪問
Fidas®測量的粒子尺寸范圍在0.25-17微米。
便攜式粒徑譜儀-氣溶膠設備（德國）
系統優點：
連續的實時測量值的PM
附加信息通過粒子數濃度
時間分辨率：1s-24h
光源：高穩定，長壽命的LED
使用壽命長
低維護，可校準檢查
直觀，易于操作
沒有放射性物質
無耗材
應用：
室內空氣品質的研究
工作場所接觸測量
排氣控制
源解析
系統更具配置不同有以下型號可選：Fidas 100/110、Fidas200/210、Fidas 300/310和Fidas Mobile。Fidas100/110為單獨的系統，測量TSP(PMtot)、PM10、PM4、PM2.5、PM1的監測，顆粒物數目監測。Fidas200/210、Fidas 300/310可外接PM10和PM2.5切割頭，用于現場校準等，采用智能氣溶膠干燥系統(Intelligent Aerosol Drying System ,IADS)，減小濕度對測量的影響，并同時記錄溫濕度和壓力。Fidas200/210流量較小，為防止風速對其采樣的影響，采用了符合VDI2119-4的SIGMA采樣頭。
中國科學院城市環境研究所已經采用德國Palas公司的Fidas200全天候監測PM2.5， 該設備已經成功在室外連續監測1年多，其準確性和穩定性讓用戶信服，是PM2.5監測的設備！
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