離子束拋光系統(tǒng)
- 公司名稱 科睿設(shè)備有限公司
- 品牌
- 型號(hào)
- 產(chǎn)地
- 廠商性質(zhì) 代理商
- 更新時(shí)間 2025/2/27 11:19:10
- 訪問次數(shù) 1107
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光刻機(jī),鍍膜機(jī),磁控濺射鍍膜儀,電子束蒸發(fā)鍍膜儀,開爾文探針系統(tǒng)(功函數(shù)測(cè)量),氣溶膠設(shè)備,氣溶膠粒徑譜儀,等離子增強(qiáng)氣相沉積系統(tǒng)(PECVD),原子層沉積系統(tǒng)(ALD),快速退火爐,氣溶膠發(fā)生器,稀釋器,濾料測(cè)試系統(tǒng)
離子束拋光系統(tǒng)
儀器簡(jiǎn)介:
ATC 1800-IM 型 |
The system shown above is equipped with a gridded ion source positioned for uniform milling of a 200mm diameter substrate. System features a 1200 l/s turbopump, load-lock with 6-position cassette, and substrate holder with backside gas cooling and rotation. Etch rate is 320 A/min of SiO2 with +/- 2% uniformity. |
離子束拋光系統(tǒng)
ATC ORION-IM 型 |
The system shown above is equipped with an ICP RF plasma source with ion energies up to 300 eV for low energy milling of substrates up to 150mm in diameter. System also includes a 700 l/s turbopump and substrate holder with simultaneous water cooling, rotation, and 0-80 degree tilting capability. |
應(yīng)用:自旋閥 /AMR/ GMR
磁隧道結(jié)
介電界面涂層
Rugate Filters
High-k 材料
形狀記憶合金
光電材料
超導(dǎo)材料
單一結(jié)晶GaN
主要特點(diǎn):
高效高產(chǎn)量,低能量等離子體源
6 x 4" 偏置靶材旋轉(zhuǎn)架
獨(dú)立偏置靶材,專業(yè)用于控制沉積合金復(fù)合材料
100mm 直徑樣品表面處理
<3% 非均勻性(75 mm面積)
襯底樣品表面等離子體清洗,刻蝕氧化,氮化
水冷,旋轉(zhuǎn),磁化,擋板樣品臺(tái),加熱至 600 C
單片樣品傳輸臺(tái)(load lock stage)