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真空快速退火爐RTP-材料設備

具體成交價以合同協議為準
  • 公司名稱 科睿設備有限公司
  • 品牌 其他品牌
  • 型號
  • 產地
  • 廠商性質 代理商
  • 更新時間 2024/12/9 20:40:00
  • 訪問次數 1854

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科睿設備有限公司(Cross-Tech Equipment Co.,Ltd )為多家國外高科技儀器廠家在中國地區(qū)的代理。科睿公司一貫秉承『誠信』、『品質』、『服務』、『創(chuàng)新』的企業(yè)文化,為廣大中國用戶提供儀器、設備,周到的技術、服務和*的整體解決方案。在科技日新月異、國力飛速發(fā)展的中國,納米科學研究、薄膜材料(包括半導體)生長和表征、表面材料物性分析、生物藥物開發(fā)、有機高分子合成等等領域,都需要與歐美發(fā)達國家*接軌的儀器設備平臺來實現。科睿設備有限公司有幸成長在這個火熱的年代,我們愿意化為一座橋梁,見證中國科技水平的提升,與中國科技共同飛速成長。
      科睿設備有限公司(Cross-Tech Equipment Co.,Ltd)總部設在中國香港,在中國上海設立了分公司,在國內多個城市設立了辦事處或維修站,旨在為客戶提供*的產品和服務。2010年,科睿設備有限公司在上海設立備品倉庫及維修中心,同時提供在大陸的各項技術服務和后期的維修保障服務,我們擁有專業(yè)的應用維修人員,并且都曾到國外廠家進行了專門的培訓。上海配備了多種維修部件,能使我們的服務更加快捷和方便。我們承諾24小時電話響應,72小時內趕到現場維修。以利于更好、更快的為中國大陸服務!
      因為信任,所以理解.我們理解用戶的困難和需求。我們已經為國內眾多科研院所和大學根據用戶的要求配制和提供了上百套系統,主要用戶包括:中科院物理所,中科院半導體所,中科院大連化學物理研究所,國家納米中心,上海納米中心,北京大學,清華大學,中國科技大學,南京大學,復旦大學,上海交通大學,華東理工大學,浙江大學,中山大學,西安交通大學,四川大學,中國工程物理研究院,香港大學,香港城市大學,香港中文大學,香港科技大學等。



光刻機,鍍膜機,磁控濺射鍍膜儀,電子束蒸發(fā)鍍膜儀,開爾文探針系統(功函數測量),氣溶膠設備,氣溶膠粒徑譜儀,等離子增強氣相沉積系統(PECVD),原子層沉積系統(ALD),快速退火爐,氣溶膠發(fā)生器,稀釋器,濾料測試系統

真空快速退火爐RTP-材料設備

3英寸、4英寸、6英寸、8英寸真空快速退火爐系統。


應用:
RTA(快速熱退火); RTO(快速熱氧化);注入退火;擴散;化合物半導體退火;滲氮;滲硅; 結晶化與致密化;

真空快速退火爐RTP-材料設備

特點:
適用于2英寸~8英寸晶圓,高可靠性和低擁有成本。不銹鋼冷壁腔體技術; 高工藝重復性,超清潔無污染環(huán)境、 高冷卻速率低記憶效果。 可實現高達10-6 mbar的高真空環(huán)境。 高溫計和熱電偶控制,高速數字PID溫度控制器,邊緣高溫計視點保障了化合物半導體和小樣品的基座的加強溫度控制。


使用特點:
溫度范圍:RT to 1500°C;
斜坡速率:最高250°C/s;
氣體混合功能:使用質量流量控制器控制;
真空范圍:大氣壓~10-6 Torr,可配置分子泵;
本系統提供全電腦控制,應用控制軟件兼容window系統。




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