測量范圍

 電阻率：10^-5～10⁵ Ω.cm(可擴展)；  
 方塊電阻：10^-4～10⁶ Ω/□(可擴展)； 
 電導率：10^-5～10⁵ s/cm； 
 電阻：10^-5～10⁵ Ω； 

可測晶片直徑

 140mmX150mm(配S-2A型測試臺)；
 200mmX200mm(配S-2B型測試臺)；
 400mmX500mm(配S-2C型測試臺)；

恒流源

 電流量程分為1μA、10μA、100μA、1mA、10mA、100mA六檔，各檔電流連續可調

數字電壓表

 量程及表示形式：000.00～199.99mV；　　　　
 分辨力：10μV；
 輸入阻抗：>1000MΩ；
 精度：±0.1% ；
 顯示：四位半紅色發光管數字顯示；極性、超量程自動顯示；

四探針探頭基本指標

 間距：1±0.01mm；
 針間絕緣電阻：≥1000MΩ； 
 機械游移率：≤0.3%；
 探針：碳化鎢或高速鋼Ф0.5mm；
 探針壓力：5～16 牛頓(總力)；

四探針探頭應用參數

 (見探頭附帶的合格證)

模擬電阻測量相對誤差
( 按JJG508-87進行)

 0.01Ω、0.1Ω、1Ω、10Ω、100Ω、1000Ω、10000Ω≤0.3%±1字

整機測量最大相對誤差

(用硅標樣片：0.01-180Ω.cm測試)≤±5%

整機測量標準不確定度

 ≤5%

計算機通訊接口

 并口，高速并行采集數據，連接電腦使用時采集數據到電腦的時間只需要1.5  秒

（在 0.1mA、1mA、10mA、100mA量程檔時）。連接電腦使用時帶自動測量功能，

自動選擇適合樣品測試電流量程；

標準使用環境

 溫度：23±2℃；
 相對濕度：≤65%；
 無高頻干擾；
 無強光直射；