CVD系統(tǒng)
- 公司名稱 合肥康帕因設(shè)備技術(shù)有限公司
- 品牌
- 型號
- 產(chǎn)地 安徽合肥
- 廠商性質(zhì) 生產(chǎn)廠家
- 更新時間 2018/9/10 15:53:45
- 訪問次數(shù) 3546
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| 產(chǎn)地類別 | 國產(chǎn) |
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CVD系統(tǒng)技術(shù)參數(shù)
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雙溫區(qū)滑軌爐LFT1200C-II 200D50 | 爐體結(jié)構(gòu) | 石墨烯制備設(shè)備雙溫區(qū)滑軌式CVD系統(tǒng)采用雙層殼體并帶有風(fēng)冷系統(tǒng)，使其爐體表面溫度都小于55℃ 爐底安裝一對滑軌，可手動滑動，以便滿足特殊工藝的快速升降溫的要求。 |
| 爐管尺寸 | Φ50/60/80/100×1600mm(可提供特殊定制。) | |
| 功率 | 5kW | |
| 輸入電壓 | 220VAC 單相 50/60Hz | |
| 加熱元件 | Cr27Al7MO2（摻鉬鐵鉻鋁合金） | |
| 溫度 | 溫度：1200℃ 額定溫度：1100℃ | |
| 升溫速率 | ≦10℃/min（推薦） | |
| 加熱區(qū)長度度 | 兩個加熱區(qū)的長度都是200mm 分別由獨立的溫控系統(tǒng)控制 | |
| 恒溫區(qū)長 | · 100+100mm（±1℃） ·可獲得較長恒溫區(qū)間 | |
| 控溫精度 | · ±1℃ | |
| 快速連接法蘭 | · Φ50快結(jié)式不銹鋼真空法蘭 · 打開法蘭直接卸下卡箍即可，取放樣品方便 | |
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預(yù)熱爐 | 功率 | · 1kw |
| 加熱區(qū) | · 100mm | |
| 溫度 | · 1200℃ | |
| 工作溫度 | · 200-800℃（可根據(jù)實際工藝需求調(diào)整） | |
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五路質(zhì)子流量控制系統(tǒng) MFC-5Z | 電壓 | 220VAC 單相 50/60Hz |
| 針閥材質(zhì) | 316不銹鋼 | |
| 量程 | 50sccm、100sccm、500sccm、500sccm、500sccm（可根據(jù)工藝要求提供多種量程選擇） | |
| 工作溫度 | 5～45℃ | |
| 外型尺寸 | 600(L) x 600(W) x 700(H) mm | |
| 電壓 | AC220V/50Hz單相 | |
| 功率 | 23W | |
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真空系統(tǒng) LVU-10 | 殼體尺寸 | · 600 (L) x 600 (W) x 700(H)mm |
| 最大承載量 | · 1000 Lbs | |
| 抽氣速率 | · 10m³/h · 極限真空度：10-1Pa · 雙層立式油污過濾器(PE材質(zhì)）與真空泵連接 | |
| 質(zhì)保期 | 一年質(zhì)保期，(相關(guān)耗材除外，如爐管，密封圈加熱元件等易耗件) | |
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使用注意事項 | · 石墨烯制備設(shè)備雙溫區(qū)滑軌式CVD系統(tǒng)爐管內(nèi)氣壓不可高于0.02MPa · · 當(dāng)爐體溫度高于1000℃時，爐管內(nèi)不可處于真空狀態(tài)，爐管內(nèi)的氣壓需和大氣壓相當(dāng)，保持在常壓狀態(tài)進(jìn)入爐管的氣體流量需小于200SCCM，以避免冷的大氣流對加熱石英管的沖擊 · 石英管的長時間使用溫度＜1100℃ · 對于樣品加熱的實驗，不建議關(guān)閉爐管法蘭端的抽氣閥和進(jìn)氣閥使用。若需要關(guān)閉氣閥對樣品加熱，則需時刻關(guān)注壓力表的示數(shù)，若氣壓表示數(shù)大于0.02MPa，必須立刻打開泄氣閥，以防意外發(fā)生（如爐管破裂，法蘭飛出等） | |
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