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化工儀器網>產品展廳>半導體行業專用儀器>熱工藝設備/熱處理設備>退火爐> Joule Yacht 快速退火爐 LRTP

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Joule Yacht 快速退火爐 LRTP

具體成交價以合同協議為準

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    武漢嘉儀通科技有限公司是*家以薄膜物性檢測作為戰略定位,高科技企業。公司集研發、市場和技術服務于一體,相繼被評為湖北省“百人計劃”及武漢市政府“城市合伙人”企業。公司成立于2009年,總部位于中國光谷,專注于薄膜材料物理性能分析與檢測儀器的自主研發, 并致力于為客戶提供薄膜材料的熱、電、磁、力、光、聲等性能測試分析整體解決方案。

    嘉儀通科技始終堅持自主研發與技術創新,擁有技術工程師研發團隊,公司總部建有省級工程實驗室,并在國內外建立了辦事處以及聯合實驗室共享中心,包括中國的北京、上海、成都以及海外的美國硅谷、英國倫敦和印度新德里等地。未來幾年,化的營銷體系及客戶服務網絡將全面建成。

    目前,公司擁有自主研發和核心知識產權的產品體系,包括光功率熱分析儀、相變溫度分析儀、熱電參數測試系統、薄膜熱導率測試系統、霍爾效應測試系統、紅外退火爐、液氮低溫恒溫器等序列產品,廣泛應用于材料企業、大專院校、科研院所、航空航天、*以及第三方檢測機構等材料領域。同時,公司依托省工程實驗室及聯合實驗室等共享平臺的大數據分析,為用戶的薄膜材料研究及戰略方向提供理論依據與數據支撐。

    嘉儀通科技秉承技術創新、應用為上的價值理念,遵循“聚眾之智,窮理致用”的原則,踏實做好每一款產品的創新研發,孜孜不倦的為廣大客戶提供Z合適的產品與較好的服務!

紅外退火爐,液氮低溫恒溫器,相變溫度分析儀,熱膨脹系數分析儀,熱電參數測試系統,薄膜熱電參數測試系統,薄膜熱導率測試系統,霍爾效應測試系統,薄膜變溫電阻測試系統

Joule Yacht 快速退火爐 LRTP 應用案例

快速熱處理,快速退火,快速熱氧化,快速熱氮化

離子注入/接觸退火

SiAu, SiAl, SiMo合金化

太陽能電池片鍵合

電阻燒結

低介電材料熱處理

晶體化,致密化

其他熱工藝需求

 

 

Joule Yacht 快速退火爐 LRTP 產品特點

可測大尺寸樣品  可測單晶片樣品的最大尺寸為4英寸(100mm)。

快速控溫與高真空  最高升溫速率可達100℃/s,真空度最高可達到10Pa。

程序設定與氣路擴展   最多可創建和存儲32個程序、8PID設定,實現不同溫度段的精確測試。最多可擴展至4條工藝氣路(MFC),應用不同氣氛環境(真空、氮氣、氬氣、氧氣、氫氮混合氣體等)。

全自動智能控制  采用全自動智能控制,包括溫度、時間、氣體流量、真空、氣氛、冷卻水等均可實現自動控制。

超高安全系數   采用爐門安全溫度開啟保護、溫控器開啟權限保護以及設備急停安全保護三重安全措施,*保障儀器使用安全。

 

快速退火爐技術參數

型號

LRTP-1200

最高溫度

1200℃

最高升溫速率

100℃/s

較快降溫速度

200℃/min(1000℃-->400℃)

控溫精度

≤0.1℃

溫場均勻性

≤0.5%

腔體冷卻

水冷方式,獨立冷卻源

襯底冷卻

氮氣吹掃

工藝氣路

MFC控制,最多4路(可選氮氣、氬氣、氧氣、氫氮混合氣等)

主機尺寸

450×625×535,單位mm

 

相關分類

氧化擴散設備


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