雷尼紹RTLA的RESOLUTE UHV的光柵尺傳感器
- 公司名稱 深圳創盛世科技有限公司
- 品牌
- 型號
- 產地
- 廠商性質 代理商
- 更新時間 2018/5/24 10:32:53
- 訪問次數 244
聯系我們時請說明是化工儀器網上看到的信息，謝謝!
什么是RTLA柵尺？
RTLA是一種輕薄小巧的不銹鋼鋼帶柵尺，具有30 µm柵距的式柵尺編碼。精度達±5 µm/m，長度zui大達21米。有兩種安裝選項可供選擇，均具有獨立熱膨脹系數和鋼帶柵尺的便利性。
RTLA能夠與革命性的FASTRACK™柵尺導軌系統結合使用。該系統可快速輕松地安裝導軌，而無需固定孔。移除一次性墊片，然后將鋼帶送入導軌。
RTLA-S通過背面自帶的不干膠固定到基體上。不干膠的作用是確保基體的熱膨脹不會影響到柵尺。
為了完成安裝，兩種類型的柵尺都用夾具夾在一個點上，從而提供基準位置。
為什么選擇這種光柵系統？
UHV（超高真空）
RESOLUTE UHV采用雷尼紹革命性創新的式光柵技術，通過一個適合在低達10 -9Torr的超高真空條件下應用的讀數頭充分發揮其技術優勢。新的RESOLUTE UHV光柵系列的構造有利于進行殘余氣體分析 (RGA) 而不會污染真空環境，非常適合高性能、半導體和科研等應用領域。
優異的運動控制性能
成熟、可靠和創新的工作方法造就了RESOLUTE UHV的業界的性能。重要的是，該系統使用標稱柵距為30 µm的單碼道非重復“條形碼”柵尺格式。RESOLUTE讀數頭采用*的光學設計，可以捕獲該柵尺的準瞬時圖像，在分析時，它還能在速度達到100 m/s時識別*位置。該系統能夠憑借低至1納米（十億分之一米）的分辨率以及低噪聲（抖動低于10 nm RMS）和僅為±40 nm的低SDE（電子細分誤差，一個柵尺刻劃周期內的誤差）確定位置。該分析提供具有優異保真度的光柵反饋，可確保更穩定的速度控制和*的位置穩定性。
寬松的安裝公差
RESOLUTE UHV沒有采用傳統的雙碼道并排（一個為增量式，另一個為式）方法，因為該方法在有少量角度準直偏差時會出現移相這一固有問題。與之不同的是，這種式光柵采用單碼道式柵尺，將位置和內置的相位信息整合為單個代碼。該技術使RESOLUTE UHV具有更寬松的安裝公差（扭擺公差為±0.5°），因此安裝快捷方便，具有優異的*穩定性，即使運動軸隨著時間的推移而出現駐留或移動時也是如此。讀數頭上有一個內置LED安裝指示燈，用于進一步協助安裝和診斷。
協議
BiSS® Panasonic
| 測量標準 | FASTRACK RTLA：帶導軌安裝系統的不銹鋼鋼帶柵尺 RTLA-S：背面自帶不干膠帶的編碼式不銹鋼鋼帶柵尺，可直接安裝至基體，無需FASTRACK導軌 |
| 讀數頭尺寸 (LxH) | 36 mm x 16.5 mm x 17.2 mm |
| 柵距 | 標稱30 µm |
| 20 °C時的熱膨脹系數 | 10.1 ±0.2 μm/m/°C |
| 20 °C時的精度等級 | ±5 µm/m |
| 柵尺長度 | ±5 µm/m |
| 柵尺長度 | 一些BiSS C®協議類型有zui大長度限制（詳見規格手冊） FASTRACK：100 mm至25 m RTLA/RTLA-S：可達21 m |
| zui高速度 | zui高可達100 m/s |
| 協議* | BiSS C Panasonic |
| 分辨率 | BiSS C：分辨率為50 nm、5 nm和1 nm Panasonic：分辨率為100 nm、5 nm和1 nm |
| 電子細分誤差 (SDE) | ±40 nm |
| 電氣連接 | 柵尺長度可達10m（帶散線） |
| 電源 | 5 V ±10%，5 V時zui大為250 mA（端接） |
| 振動（工作） | 55 Hz至2000 Hz時100 m/s2（zui大值） |
| 震動（非工作） | 1000 m/s2，6 ms，½正弦 |
| 工作溫度 | 0 °C至+75 °C |
采購中心
化工儀器網