背散射電子圖像分辨率 | 4.0 nm | 二次電子圖象分辨率 | 3.0 nmnm |
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放大倍數(shù) | 300000x | 加速電壓 | 0.3 kV ~ 30 kVkV |
價格區(qū)間 | 150萬-200萬 | 儀器種類 | 鎢燈絲 |
日本電子SEM掃描電子顯微鏡JSM-IT300經(jīng)過改進(jìn)照射系統(tǒng)、真空系統(tǒng)和信號處理系統(tǒng),不僅能觀察高質(zhì)量的圖像,還能利用觸控屏和快速樣品臺進(jìn)行高通量的直觀操作。
高品質(zhì)的圖像
日本電子SEM掃描電子顯微鏡JSM-IT300通過改進(jìn)電子光學(xué)系統(tǒng),使圖像質(zhì)量更高,成像和分析更快。
減少了充放電現(xiàn)象
新的掃描方式能抑制非導(dǎo)電性樣品的荷電效應(yīng)。
低真空模式(LV)
低真空壓力范圍從10 Pa 至 650 Pa,拓寬了可以觀察的樣品材料的范圍。
多功能:
大型樣品室和樣品臺
能容納大型、較重的樣品,可裝載zui大尺寸為200 mm(φ)× 80 mm( H)、重達(dá)2 kg 的樣品。
*幾何設(shè)計的分析接口
多個接口可以安裝EDS、EBSD 和WDS 等附件, EDS 和EBSD 處于同一平面,此外,還能安裝兩個相隔
180 度的EDS 檢測器用于高通量的顯微分析。
移動迅速的樣品臺
新開發(fā)馬達(dá)驅(qū)動樣品臺能快速地定位 ( 與其它JEOL 的產(chǎn)品相比快1.5 倍)。
全自動5 軸馬達(dá)驅(qū)動樣品臺
采用了機械對中、五軸(X、 Y,、Z、T、R) 異步馬達(dá)控制的樣品臺,當(dāng)觀察厚樣品或當(dāng)感興趣區(qū)域(ROI)
不在傾斜軸的中心時,可利用標(biāo)配的計算機控制的全對中傾斜和旋轉(zhuǎn)校正功能。
全新的真空系統(tǒng)
全新的真空系統(tǒng)縮短了樣品交換后抽真空的時間,使低真空模式下的信號更好。
直觀的操作:
觸摸屏界面
新設(shè)計和開發(fā)的圖形用戶界面(GUI)使操作更加舒適,還能支持觸摸屏操作。 用戶界面的大小可以調(diào)節(jié),因此在分析或數(shù)據(jù)處理時,可以優(yōu)化工作空間。
多用戶、多任務(wù)
多用戶登錄功能,可用于自定義工作區(qū)和樣品條件的設(shè)置。
支持多語言
用戶界面語言可以在日語和英語間切換( 通過圖標(biāo)選擇)。