Talysurf CCI 6000非接觸式三維輪廓測量儀

Talysurf CCI 6000 適用于高精度三維表面測量分析。一種在垂直方向全程內分辨率為0.1 Å，測量噪音低于0.5 Å的高水準的非接觸式三維表面測量儀。精密三維表面輪廓光學系列測量儀采用相干相關技術進行非接觸式表面測量。此類儀器能在僅10秒內完成測量數據點超過百萬的表面測量，分辨率高達0.01 nm (0.1 Å)。

Talysurf CCI 6000 干涉儀是一種良好的高分辨率的光學輪廓測量儀。像素達100萬的傳感器作為系統的標準配置。該系統可提供測量重復性和很高的表面細節。該系統專為需要進行高分辨率測量的（如亞微米級與亞納米級的z軸分辨率）各種不同類型的表面而設計的。它非常適合應用于許多不同的領域包括：半導體制造業和微機電系統，以及良好的科學研究與光學業。

篤摯儀器（上海）有限公司專業代理英國泰勒粗糙度儀、輪廓儀、粗糙度輪廓儀、圓度儀、圓柱度儀等精密測量儀器。英國泰勒霍普森Taylor Hobson隸屬于美國阿美特克AMETEK集團，是不斷創新的精密計量領域的世界***，杰出的聲譽源自100多年的計量設計和精密制造工程經驗。代表著表面粗糙度及形狀計量學領域的高精度等級的計量水平，并為眾多應用領域提供接觸和非接觸測量解決方案。英國泰勒擁有大量以發明**為代表的知識產權，同時仍保有大規模的研發團隊和高額資金投入。并且不斷將科研成果應用于新產品的開發和改進，使其更加完善地服務于用戶。

技術特點：

      。垂直分辨率高達0.1 Å (0.01 nm) 
      。測量噪音（實際測量數據）低至0.5 Å (0.05 nm) 
      。標準數據測量點為百萬, 系統數據測量點可多至四百萬

圖1：Talysurf CCI 6000非接觸式三維輪廓測量儀

Talymap 3D分析軟件：

業界**的軟件使三維表面測量變得易于訪問。自動分析程序只需按一下按鈕即可進行詳細的測量分析?？梢宰詣幼R別，測量和分類由直徑，面積或體積定義的表面特征。數據操作工具由于可以對軟件中的測量數據進行軟件調整和對齊，因此大大簡化了組件的準備和準備工作。

      。高分辨率變焦
      。調平和旋轉
      。倒置和鏡像
      。消除形式和缺陷
      。輪廓提取
 

微觀粗糙度，波紋度，進給速度和深度

可以在超級拋光的光學組件上測量到亞埃級的表面紋理（RMS）