微波材料學工作站--微波等離子化學氣相沉積系統

主要用途：

★該系統既可用作傳統的化學氣相沉積設備，又可用作微波能化學氣相沉積設備，同時又是微波等離子化學氣相沉積設備

★主要為應用在半導體, 大范圍的絕緣材料，大多數金屬材料和金屬合金材料，石墨烯、納米材料、碳纖維、碳化硅、鍍膜等新材料新工藝領域

★該款具有高電離、高電子溫度和電子密度、適用壓強范圍寬、無內部電極污染等優異性能，微波等離子體在材料表面處理、金剛石薄膜制備、化學氣相沉積、刻蝕以及甲烷轉化制氫、長余輝發光材料、陶瓷燒結、碳納米管修飾［3］、納米粉體合成、處理水污染等領域

產品特點：

★垂直反應器的設計可使等離子高密度；對稱的微波發生器裝置，使產生的等離子環境更均勻

★諧振腔內沒有內部電極，可以避免電極放電所產生的污染，而且，它的運行氣壓范圍比較寬，所產生等離子體密度高、區域大，穩定性高，且不與真空器接觸，從而避免了器壁對薄膜的污染

★操作便捷：氣路連接方式采用了KF快速連接法蘭結構，使取放物料過程簡化，只需一支卡箍便可完成氣路連接，方便操作，取消了復雜的法蘭安裝過程，減少了安裝造成的損壞

★多功能：4種加熱方式可選可變：微波等離子、純微波、傳統電加熱、混合加熱；適應包括金屬與合金在內非易燃的任何樣品的熱處理

★雙溫區結構：上部等離子區或加熱區下部樣品臺加熱區

★*開發的微波場傳感器，精準控溫

★安全：*采用防止泄漏的聯鎖保護屏蔽措施安全可靠的微波屏蔽腔體設計，多重防泄漏保護

*標配裝有專業微波抑制器

*內置微波泄漏傳感器

★節能：使用壽命長：磁控管微波加熱，避免和解決了傳統的加熱絲、硅碳棒、硅鉬棒等加熱元件容易損壞的問題，也避免了因加熱元件損壞而造成的時間、實驗進度、維修費用等各種損失

★采用無級可調、高穩定度長壽命、連續波微波源，確保設備能夠連續穩定長時間運行

★嵌入式微機一體化溫度控制系統；實現穩定性控溫

★無須烘爐過程：爐腔整體自身發熱，加熱均勻

★微波能量即開即有,無熱慣性,易于控制溫度

★配有萬向輪調節底腳，方便移動和固定

技術參數：

選配功能：

質量流量控制系統；美國Alicat質量流量&控制器