MX61A大尺寸智能型全自動顯微鏡詳細介紹：
始終提供*觀察影像的光學系統
強大的缺陷檢查能力
采用了新穎的光學系統（UIS2），特別增強了明視場、暗視場的性能，從而提高了辨別和確認缺陷的能力。明視場圖像的色溫*化，實現了容易誤檢的中性顏色的再現，暗視場圖像的亮度約提高了四倍（與本公司原有產品比較）。
觀察影像實例
 明視場觀察 |  新暗視場觀察 |  傳統的暗視場觀察 |
自動調節*亮度
 亮度光圈調節示意圖 | 物鏡選擇和觀察方法切換連動，自動地調節亮度光圈。提高了觀察速度并減輕疲勞。 |
對應各種設備的實時AF
 深紫外線觀察用物鏡 | MX61A裝載了在對焦精度、對焦速度上性能*的動態AF。新開發的多點方式的傳感器的采用，大幅度的提高了對焦時的穩定性。在可視、深紫外線的反射光觀察中，實現了追蹤觀察位置的實時對焦。 |
對應多種觀察方法
 物鏡UIS2系列產品 | 在深紫外線到可視、近紅外線觀察中發揮高性能的UIS2物鏡系列產品，與各種觀察單元組合，可以在一臺顯微鏡上進行明視場、暗視場、微分干涉、熒光、近紅外線、深紫外線等觀察。 觀察方法的切換非常簡單，只要從明視場、暗視場、選件鏡子單元三個位置選擇就可以。 |
觀察影像實例
 明視場觀察 |  暗視場觀察 |  微分干涉觀察 |
 熒光觀察 |  近紅外線觀察（左）和可見 光線觀察（右）的比較 |
提供擴展性的解決方案 提供擴展性的解決方案
 適應分析需求的Analysis-Engine（分 析引擎）模塊 | MX61A大尺寸智能型全自動顯微鏡"顯微鏡控制軟件"作為核心對MX61A系統全體進行控制。這個應用靈活的軟件不僅能控制顯微鏡，還能控制數碼照相機、電動載物臺等外圍設備。一直以來，必需進行若干個操作才能實現的高級觀察方法、深紫外線觀察等的切換，只要一次點擊就能順利完成。該軟件進一步拓展了MX61A的擴張性，滿足了不斷變化的分析需求。 |
顯微鏡控制軟件 MX2-BSW
 顯微鏡控制軟件顯示畫面 | 顯微鏡控制軟件MX2-BSW不僅能進行各種顯微鏡控制和AF，還能綜合控制深紫外線觀察單元和電動載物臺*1等。對于數碼照相機*2，能夠控制它的觀察和記錄。觀看實況影像時單擊需觀察的地方，快速移動到視場中心、實況計量和檢測、影像記錄等一系列作業就能容易的得以實現。 *1對應本公司*的電動載物臺 *2對應奧林巴斯DP21或本公司*的IEEE1394數碼照相機 |
實現對人和環境都沒有危害的自動化
符合SEMI S2/S8標準
符合SEMI（Semiconductor Equipment and Materials International）S2-0706（有關安全的基準），S8-0705（有關人體工程學的基準）和CE標識（歐洲強制性認證）等的標準。符合人體工程學和安全對策等，高水準的確保了可靠性。
可選的傾斜觀察筒
 傾斜觀察筒示意圖 | 備有2種能以舒適姿勢觀察的傾斜鏡筒?？梢愿鶕猛具x擇雙目部傾斜角度由水平0°到42°的、變化范圍大的MX-SWETTR型號，或是目視和拍攝影像可同時觀察的U-SWETTR-5型號。 |
潔凈對應的電動物鏡轉換器
 潔凈對應的電動物鏡轉換器 | 備有兩種堅固耐用的潔凈型電動物鏡轉換器。 6孔和5孔中心補正型號的明暗視場電動物鏡轉換器，采用了新型馬達，實現了高速安靜的倍率轉換。 |
高抗振本體
 高倍率觀察圖像示意圖 | 采用了不易受振動影響的高度剛性儀器機架。即便是高倍率觀察，也不會出現影像模糊的情況。 |
可以觸摸屏操作的手控開關
 手控開關操作部 | 配備了觸摸屏操作的手控開關，可以在檢查時執行選擇物鏡和觀察方法等多種操作。只要選擇觀察方法，就能得到基于登錄條件的zui合適的觀察影像。自動對焦的追蹤、單次拍攝的切換、對焦的細微調節、DIC延遲調節、亮度調節和交換樣本時的載物臺退出均可以執行。 |
幫助實現多種觀察的附件 晶圓搬送機組合
 晶圓搬送機 | 可以對應直徑200 mm及以下的晶圓。新型搬送手臂的采用，實現了對90 μm極薄晶圓的搬送，能滿足多種尺寸晶圓搬送的需求。 |
自動載物臺組合
 自動載物臺 | 備有對應300mm/200mm晶圓的高精度電動載物臺。通過PC控制，可以實現高級檢查、不良分析功能。 |
| 規格 | |||
| 光學系統 | UIS2光學系統（無限遠校正） | ||
| 機身 | 觀察方法 | 明視場/暗視場/微分干涉/簡易偏振光/熒光 | |
| 反射/透射 | 反射 | ||
| 照明裝置 | 機身一體型（明視場、暗視場＋1選件） | ||
| 照明系統 | 反射照明 | 100 W鹵素/100 W水銀/75 W氙 | |
| 透射照明 | - | ||
| 對焦單元 | 電動/手動 | 電動 | |
| 行程 | 25.4 mm | ||
| 分辨率/微調靈敏度 | 分辨率0.01 μm | ||
| zui大樣本高度 | 24 mm | ||
| 物鏡轉換器 | 電動型 | 明視場微分干涉6孔 | |
| 明暗視場微分干涉5孔 | |||
| 明暗視場微分干涉6孔 | |||
| 明暗視場微分干涉中心補正5孔 | |||
| 手動式 | - | ||
| 載物臺 | 行程 | 14×12英寸右下手柄：356（X）×305（Y）mm 8×8 英寸右下手柄：210（X）×210（Y）mm | |
| 觀察筒 | 廣角視場（視場數22） | 倒置 | - |
| 正像 | - | ||
| 超寬視場（視場數26.5） | 倒置 | - | |
| 正像 | 傾斜三目觀察筒 | ||
| 附件單元 | 自動調焦/IR單元/電動載物臺/自動裝載 | ||
| 外形尺寸 | 711（W）×853（D）×552（H）mm（標準組合） | ||
| 重量 | 56 kg（標準組合） | ||
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