高精密勻膠機  

LH3-SC200-SE精密勻膠機是一種小型、靈活和經濟的旋轉勻膠設備，它可以實現價值百萬美元設備（track）的上才可能達到穩定性和均勻性。  

不銹鋼外殼比塑料或者烤漆金屬更耐久和美觀；工業級別400瓦伺服電機系統，采用于track設備相同設計和程序，使您的工藝更具有實際應用意義；同類產品中的zui大達到50000rpm/s的旋轉加速度，確保旋轉勻膠的穩定性和*的可重復性。  

主要性能指標：  

主機機箱采用不銹鋼材料（抗化學腐蝕易清潔）  

旋涂程序：zui多存100組程序，每組100步，每個步驟可精確到0.1秒  

轉動速度：0-5,000rpm（更高速可選），考慮重片或大片旋涂安全性限定為5000rpm  

旋涂加速度：0-10,000rpm/sec（更高可選），考慮重片或大片旋涂安全性限定為10000rpm/s  

馬達旋涂轉速穩定性能誤差<±1rpm  

轉速調節精度<1rpm，重復性<1rpm  

工藝時間設定：0-3,000sec/step，時間設置精度：0.1sec  

支持wafer尺寸1cm-300mm（12“圓晶）  

旋涂作業均勻性：<±3%在6英寸范圍內（需要去除邊緣3毫米區域測量）  

產品特性優點：  

的內部緊湊設計，縮小了設備的尺寸。  

7"觸屏控制面板操作系統，更方便操作。  

on®/polyethylene“密閉碗”設計可適合各種材料勻膠工藝。  

標準配置轉速5000rpm，并可根據用戶需要進行定制。  

采用工業級別伺服電機，電機設計避免光刻膠等污染物進入電機內部。  

機身選用耐酸堿、耐沖擊、耐腐蝕不銹鋼，*生銹，便于清洗。  

排風和抽氣系統位計于載片臺之底部（以利于排風效率和勻膠均一性）。  

透明可視，耐化學腐蝕的密封蓋，可以在旋涂作業時*隔絕光阻的溢出及有效隔絕有毒氣味的散發。

產品外型尺寸：  

613mm(D)*463mm(W)*306mm(H)