Tetra-30 是一款在線型等離子清洗機

特殊的設計使它能夠方便于集成到生產線上

它能提供良好的表面清潔功能和改性效果

它的優點是可靠和可重復性，即便是連續工作

Tetra-30由以下幾個基本單元組成（如需了解具體配置及參數請）

• 一個射頻電源

• 40KHz: 0-1000W; 0-1500W; 0-2500W
• 13.56MHz: 0-300W; 0-600W

• 1個質量控制流量計；2-4個可選
• 一個不銹鋼艙體；尺寸W 240mm ; H 150mm; D 240 mm
• 自動控制系統；PC+windows系統
• 皮拉尼真空計
• 一個真空泵

設備主要應用領域如下

• 半導體制造    
• LED外延及封裝
• 汽車制造
• 航空航天
• 科研院所
• 光伏新能源
• 生物醫學
• 液晶顯示
• 消費電子（手機、電腦等零配件的生產制造）
• 信息通信
• 精密光學
• 其他

艙體大小結構根據不同生產需求可量身定制