FT9200系列日立X射線熒光鍍層厚度測量儀規格參數：

可測量元素：原子序數22(Ti)～92(U)
X射線源：小型空氣冷卻型X射線管球 管電壓：45kV 管電流：1mA Be窗
濾波器：一次濾波器：Al-自動切換  二次濾波器：Co-自動切換
檢測器：比例計數管
準直器：方型：0.2×0.05mm 0.05×0.02mm 
              圓形：Φ0.1mm Φ0.2mm Φ0.3mm

安全性能：裝有樣品門聯鎖、防沖撞的功能

樣品圖像對焦方式：激光自動對焦

樣品觀察：CCD固定倍率、鹵素燈照明 選購項：倍率切換（zui大130倍） 
修正功能：底材修正、已知樣品修正、人工輸入修正
測量報告書制作：配備MS-EXCEL® MS-WORD®(使用宏支持自動制作測量報告書) 測量能譜與樣品圖像保存功能

FT9200系列日立X射線熒光鍍層厚度測量儀主要特點：

1. 能夠測量無鉛焊錫
    日立 FT9200系列 X射線熒光鍍層厚度測量儀配備了薄膜FP法，可以同時測量Sn-Ag，Sn-Bi，Sn-Cu等，無鉛焊錫的鍍層后與成份

2. 搭載中心搜索軟件
    通過掃描樣品可以自動檢測出線及基板點面部分的測量中心位置。

3. 擁有防沖功能

4. 搭載激光對焦系統

5. 即時生成測量報告的便捷性
    日立X射線熒光鍍層厚度測量儀運用搭載的Microsoft Word® Excel® 可以簡單輕松得到制作報告。

 
6. 擁有自動測量軟件以及中心搜索軟件

7. 搭載了薄膜FP法軟件

8. 自動對焦功能 
   配備激光自動對焦功能，能夠準確對焦，提高測量效率。