CP-4 化學機械拋光設備
參考價 | ¥ 500000 |
訂貨量 | ≥1 件 |
- 公司名稱 北京億誠恒達科技有限公司
- 品牌 其他品牌
- 型號 CP-4
- 產地 美國
- 廠商性質 代理商
- 更新時間 2020/11/11 17:10:21
- 訪問次數 518
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萬能材料試驗機,疲勞試驗機,沖擊試驗機,電化學工作站,恒電位/恒電流儀,石英晶體微天平,三維形貌儀,輪廓儀,原子力顯微鏡(AFM),掃描探針顯微鏡(SPM),摩擦磨損試驗機,瓶蓋扭矩測量儀,軸承扭矩測量儀,高頻疲勞試驗機
產地類別 | 進口 | 價格區間 | 20萬-30萬 |
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應用領域 | 醫療衛生,食品,石油,建材,電子 |
CP-4化學機械拋光設備
CP-4是*的臺式化學機械拋光設備(CMP),可以很好的滿足您的研發需求。*軟件控制,可以對直徑4英寸的晶圓和磁盤進行拋光。 CETR-CP-4可檢測原位摩擦力,摩擦系數,溫度,下壓力,磨損,聲發射等,可以模擬所有的參數,如速度,負載和流量,來模仿一個大的CMP系統。
的研究和開發的各個方面
• 測試和開發各種不同的微粒,材料,濃度,氧化劑,抑制劑等的拋光液
• 測試和開發不同的材料,溝槽形狀,尺寸,彈性,壽命等
• 測試和發展拋光墊調節裝置來優化拋光墊的損耗率,修整,效率等
• 開發CMP定位環材料來優化摩擦,磨損,壽命等
• 測試去除率,重復性缺陷,工藝優化等,研究或開發各種應用的各種材料
• 半導體方面 - 銅,Ta, TaN, Al, Si, SiO, Ru, WC, solar cells, PVD, CVD, 薄膜等
• 化合物半導體 - 砷化鎵,銦,磷化物,汞,鎘
• 應用生物材料 - 牙,骨,鈦,鋼鐵制品等。
• 光電材料 – LED,藍寶石,紅外窗口拋光激光材料,顯微鏡頭,微光學,鈮酸鋰,鉭酸鋰,磷酸氧鈦鉀等。
同時實時監測及處理
• 通過在晶圓墊和調節墊界面處的擁有的傳感器,測量負載和摩擦力,
• 通過在晶圓墊和調節墊界面處的擁有的傳感器和放大器,測量接觸噪聲
• 使用聲波表征的缺陷、劃痕,并在加工過程中分層
• 監測流入的拋光液,拋光片表面和流出廢液的溫度 .