EMS 150 膜厚監(jiān)控儀(通用儀器)
- 公司名稱 海德創(chuàng)業(yè)(北京)生物科技有限公司
- 品牌
- 型號 EMS 150
- 產(chǎn)地 美國
- 廠商性質(zhì) 代理商
- 更新時間 2017/5/12 16:43:47
- 訪問次數(shù) 1702
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EMS 150 膜厚監(jiān)控儀(通用儀器)Film Thickness Monitor和噴金儀/離子濺射儀/噴碳儀/蒸發(fā)鍍膜儀配套使用,以便對膜厚進行監(jiān)控。提供內(nèi)置模塊和外接裝置。
石英是離子型的晶體,當發(fā)生拉伸或壓縮時能產(chǎn)生電極化現(xiàn)象,稱為壓電,這是因為其結(jié)晶點陣的有規(guī)則分布所致。石英晶體壓電效應(yīng)的固有頻率不僅取決于其幾何尺寸,切割類型,而且還取決于芯片的厚度。當芯片上鍍了某種膜層后,芯片的厚度增大,則芯片的固有頻率會相應(yīng)的衰減。膜厚監(jiān)控儀(通用儀器)就是通過測量頻率或與頻率有關(guān)的參量的變化而監(jiān)控淀積薄膜的厚度。
FTM是如何工作的呢?鍍膜時,膜厚監(jiān)控儀里面的晶振片的高速振動,測試每秒鐘振動次數(shù)的改變,從所接受的數(shù)據(jù)中計算膜層的厚度。
儀器參數(shù):
儀器尺寸 | 300mm (W) x 150mm (D) x 75mm (H) |
重量 | 6Kg |
可配套儀器 | EMS 450, EMS 550, EMS 575, EMS 650, |
晶片座 | 置晶片裝置 |
密度范圍 | 1.55 to 23.0g/cm-3 |
測控范圍 | 5 to 999nm |
鍍碳時精度 | 0.8nm |
鍍金時精度 | 0.1nm |
電源 | 230V 50 Hz (3 Amp Max) |
訂購信息:
貨號 | 產(chǎn)品名稱 | 規(guī)格 |
91006 | EMS 150 Film Thickness Monitor complete with terminate unit including crystal holder and fitted crystal. Standalone. | 臺 |
91006-M | EMS 150 Film Thickness Monitor Built-in Module | 臺 |
91008 | Spare Crystals | 盒 |
91009 | Spare Glass Cylinder | 個 |