技術參數：

樣品類型：固體、顆粒、液體、多層膜
樣品室尺寸：W×D×H：600×350×260mm
樣品臺尺寸：W×D：330×170mm
測量氣氛：大氣/真空，在100秒內準備就緒
樣品移動：zui大移動范圍 W×D×H：270×240×120mm
移動速度：渦輪增速樣品臺zui大移動速度可達100mm/s
激發：配多導毛細管聚焦鏡的高強度X射線光管 
選項：可同時使用不同靶材的雙光管
X射線光管參數：
靶材：Rh，可選靶材：Mo，Ag，Cu，W
電壓：50kV,800μA
光斑大小：小于30μm（對于Mo-K）
濾光片：根據用戶要求，zui多6塊濾光片
探測器：Flash®硅漂移探測器
選項：可zui多同時使用3個探測器
探測器參數：
有效面積：10mm2，選項：30mm2
能量分辨率：計數率250,000cps時分別優于125eV、135eV
儀器控制：*的PC機，Windows XP或Vista操作系統
儀器控制功能：光管參數、濾光片、光學顯微鏡、樣品照明和樣品定位的全面控制
光譜評估：譜峰識別、人工和自動背景校正、峰面積計算、對于塊狀樣品和多層膜樣品基于標樣和無標樣模式的定量分析 
分布分析：“飛行中”測量模式，HyperMap軟件功能
結果顯示：定量結果、統計計算、元素分布（線掃描、面分布）
電源要求：110-240V（1P），50/60Hz
尺寸（寬×深×高） 815×680×580mm，130kg
質量和安全：DIN EN ISO 9001:2000認證, CE認證
*輻射防護系統；輻射劑量＜1μSv/h