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化工儀器網>產品展廳>半導體行業專用儀器>薄膜生長設備>化學氣相沉積設備> CVD氣相沉積爐

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CVD氣相沉積爐

具體成交價以合同協議為準

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株洲鑫韻科技發展有限公司是一家以半導體變流技術為依托,集科研開發、生產經營為一體的科技型企業。公司堅持以人才為根本,以市場為導向,以*為依托的經營理念,致力于中高頻感應加熱設備和工業控制設備的開發生產與推廣應用。高溫石墨化爐,碳化爐,熔煉爐,燒結爐等;我公司還從事非金屬及其復合材料、碳/碳復合材料的研制、生產、銷售和相關技術服務;各種工具、石墨、碳布、碳繩、碳氈、高導熱膜銷售.產品廣泛應用于航天、交通、機械、冶金、軌道交通機車車輛行業等幾十種加工制造行業中,并以優質的產品、完善的服務贏得廣大用戶企業的信賴與贊譽。  公司的主要骨干技術人員均來自國營轉民企業中,經過多年的發展,公司內部已擁有一批老中青技術專家和*的技術開發團隊,建立和完善了產品質量保證體系;公司外部擁有良好的經濟發展環境和良好的配套服務設施,建立和完善了產品銷售和技術服務網絡,多年來,為各行業提供了優質的產品和良好的售后服務。 在*的應用中,株洲鑫韻科技發展有限公司為各類用戶提供了無數堪稱經典的技術和產品應用的解決方案,隨著技術和產品應用領域的不斷擴大和延伸,株洲鑫韻科技發展有限公司愿意接受各位新老用戶的批評指導,愿意為各位新老用戶繼續做好服務工作。將弘揚科技創新   節約資源的企業精神,恪守 “誠為上、信為本的原則,憑借著創新的設計、*的技術及高效的生產,制造出更高質量的產品,為您提供更*的、更科學的電熱電爐應用技術。

石墨化爐,碳化爐,燒結爐,熔煉爐

CVD氣相沉積爐

化學氣相沉積爐應用領域

化學氣相沉積爐(沉積炭)可用于以碳氫氣體(如C3H8等)為碳源的復合材料的化學氣相沉積,如C/C復合材料、SiC復合材料等的CVDCVI處理。

化學氣相沉積爐產品規格

產品型號/規格W×H×L(mm)

600*600*1000

800*800*1200

1000*1000*1500

1200*1200*2500

1500*1500*3000

2500*2000*3600

裝載重量(KG)

350

800

1500

2500

5000

10000

zui高溫度(℃)

1500

1500

1500

1500

1500

1500

溫度均勻性(℃)

±7.5

±7.5

±7.5

±10

±10

±15

加熱功率(kw)

250

360

480

600

900

1200

極限真空度(Pa)

20

20

20

20

20

20

壓升率(Pa/h)

0.67

0.67

0.67

0.67

0.67

0.67

以上化學氣相沉積爐參數可以根據工藝要求進行調整,不作為驗收依據,具體以技術方案和協議為準。

化學氣相沉積爐主要配置

爐門:絲杠升降//液壓升降/手動升降;手動鎖緊/自動鎖圈鎖緊

爐殼:全碳鋼/內層不銹鋼/全不銹鋼

爐膽:軟碳氈/軟石墨氈/硬質復合氈/CFC

加熱器:等靜壓石墨/模壓三高石墨/細顆粒石墨

工藝氣路系統:體積/質量流量計;手動閥/自動閥;進口/國產

真空泵和真空計---進口/國產

PLC:歐姆龍/西門子

控溫儀表:日本島電/英國歐陸

熱電偶:C分度號/S分度號/K分度號/N分度號

記錄儀:無紙記錄儀/有紙記錄儀;進口/國產

人機界面:模擬屏/觸摸屏/工控機

電器元件:正泰/施耐德/西門子

料車:滾道式/叉車式/疊加式超長傳輸料車

化學氣相沉積爐技術特征

本化學氣相沉積爐zui大工作區尺寸可達2.5m×2m×4.5m,能滿足超大型工件化學氣相沉積處理需求;

本化學氣相沉積爐采用多溫區獨立控溫,溫度均勻性好;

本化學氣相沉積爐采用特殊結構沉積室,密封效果好,抗污染能力強;

本化學氣相沉積爐采用多通道沉積氣路,流場均勻,無沉積死角,沉積效果好;

本化學氣相沉積爐對炭沉積過程中產生的焦油、固體粉塵、有機氣體等能進行有效處理。



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