輸入電壓

AC 208V ~ 240V, 50/60 Hz

輸入功率

< 2000W 

輸出功率

• 電壓：1600VDC
• zui大電流：150mA 

腔體

石英腔體：167mm OD. x 152mm ID x 260mm Height

濺射頭和樣品臺

• 2英寸帶水冷磁控濺射頭
• 一個直徑50mm不銹鋼樣品臺，樣品臺可旋轉，旋轉速率0 - 5 RPM 

• 配有一手動操作的擋板，包含靶頭支撐架

• 樣品臺和靶頭之間的距離可以調節，調節范圍：60-100mm

       （點擊圖片查看詳細資料）

控制面板

6" PLC集成觸摸屏控制面板，可控制真空、電流、靶材位置和基片加熱溫度

附件（可選）

• 雙極旋片真空泵VRD-8，KF25接口

• KF25不銹鋼波紋管

• 10L/min 循環水冷機冷卻磁控靶頭  
    

氣氛

含一個控制進氣的針閥和一個放氣閥

靶材

• 靶材尺寸: 50 mm dia. x 0.50 -2 mm
• 適合濺射Au,Ag,Cu,Al,Cr,Ti,Sn,Ni等金屬，可選購

可選配件

• 膜厚監測儀
• 分子泵，可獲得高真空， >10E-5 torr
• 為獲得的薄膜強度，建議鍍膜前用等離子清洗機對基片進行清洗。
• 500度樣品加熱臺         
      

體積

    
  ( L 440mm×W 330mm × H 290mm 

凈重

20 kg ( not included pump )

質保和證書

• 一年質保，終生維護
• CE認證

磁控濺射鍍膜知識

與客戶分享的磁控濺射鍍膜技術，請點擊文章鏈接- Plasma Sputter Coating.