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化工儀器網>產品展廳>分析儀器>色譜>氣相色譜(GC)>GC-9560-HG 硅烷純度分析氦離子氣相色譜儀

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GC-9560-HG 硅烷純度分析氦離子氣相色譜儀

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上海華愛色譜分析技術有限公司系上海市高新技術企業,全國氣體標準化技術委員會委員,全國氣體標準化試驗研究與驗證-色譜平臺,全國半導體設備和材料標準化技術委員會氣體分技術委員會委員,中國工業氣體協會理事單位,中國工業氣體協會氣體分析技術及儀器設備專業委員會副主任委員單位,公司致力于工業氣體和電力系統兩大領域的專用色譜儀的研發和生產,為國內專用色譜制造商。

 

華愛色譜自2004年成立以來,先后參與了1項國際標準ISO19230-2020《Gas analysis-Sampling guidelines》,和近百項《國家標準》的制修訂工作。在氣相色譜生產和應用領域,華愛色譜擁有幾十項專利技術,先后承擔過國家創新基金、重點新產品計劃、火炬計劃、成果轉化等多項國家和上海市的科技項目,確立了華愛色譜在色譜分析行業內的地位。 座落于黃浦江畔的生產車間,具備完善的管理制度和的生產環境,2008年通過ISO9001國際質量管理體系認證;擁有GC-9560系列實驗室氣相色譜儀、HA-9660在線式氣相色譜儀、GC-9760便攜式氣相色譜儀三大系列,二十余種產品,可配備FID、TCD、FPD、PDD、PED、ZrO2等各種檢測器。

在電力行業,華愛色譜承擔了GB/T 12022-2014《工業六氟化硫》和國網企業標準《SF6氣體分解產物氣相色譜分析方法》等標準的制修訂工作;產品廣泛應用于中國電力科學研究院、 冀北、 安徽省、 陜西省、重慶市、 天津市、 上海市、 福建省、 江蘇省、 山東省、 浙江省、 四川省、 遼寧省、 黑龍江、 青海省等國網電力科學研究院、廣東省電力科學研究院、 貴州省電力科學研究院、 廣州供電局、 深圳供電局等南方電網直屬單位,江西省檢修公司、 河南省檢修公司、 天津市檢修公司等單位。

 

另外,華愛色譜在高純氣體和電子工業用氣中痕量雜質檢測的色譜儀設備,現已廣泛應用于Air Liquide(液化空氣)、Linde(林德集團)、Air Products(空氣化工)、Praxair(普萊克斯)等國際名企;光明化工研究設計院、黎明化工研究設計院、中國計量科學研究院、中國科學院大連化學物理研究所、中國科學院理化技術研究所等科研機構;盈德氣體、蘇州金宏、福建久策、福建德爾、佛山華特、中船重工、寶武集團、首鋼集團等國內名企。

 

華愛色譜榮獲獎項:

2016年榮獲上海市科學技術三等獎

2018年榮獲安徽省科學技術一等獎

2018年榮獲中國電力科學技術三等獎

2020年榮獲中國機械工業科學技術三等獎

2021年榮獲第二十二屆中國專利優秀獎

2021年榮獲廣東省技術發明二等獎

2023年榮獲機械工業科學技術科技進步二等獎

2023年榮獲中國儀器儀表學會科技進步二等獎

 

 

氣相色譜儀、在線式氣相色譜儀、便攜式氣相色譜儀、工業防爆在線色譜儀

  一,GC-9560-HG硅烷純度分析氦離子氣相色譜儀的應用領域:
 
  硅烷在大規模集成電路(LSI)、超大規模集成電路(VLSI)和半導體器件制造中,用于氣相外延生長、化學氣相淀積等工藝(工序)。
 
  1. 外延(生長)混合氣 在半導體工業中,在仔細選擇的襯底上選用化學氣相淀積的方法,生長一層或多層的材料所用的氣體叫做外延氣體。常用的硅外延氣體有二氯二氫硅、四氯化硅和硅烷等。主要用于外延硅淀積,多晶硅淀積,氧化硅膜淀積,氮化硅膜淀積,太陽能電池和其他光感受器的非晶硅膜淀積等。外延生長是一種單晶材料淀積并生長在襯底表面上的過程。
 
  2. 化學氣體淀積(CVD)用混合氣 CVD是利用揮發性化合物,通過氣相化學反應沉積某種單質或化合物的一種方法,即應用氣相化學反應的一種成膜的方法。依據成膜種類,使用的化學氣相淀積(CVD)氣體也不同。
 
  :硅烷中微量雜質的分析一直是色譜分析的難點。
 
  目前多數采用的熱導檢測器由于靈敏度有限,很難測定5ppm以下的雜質;火焰離子化檢測器和氧化鋯檢測器是選擇性的檢測器,只能分析少數幾種氣體雜質,均不能很好的滿足硅烷氣體分析的基本要求。
 
  PDHID檢測器(脈沖放電氦離子檢測器)是一種靈敏度的通用型檢測器,對幾乎所有無機和有機化合物均有很高的響應,特別適合*氣體的分析,是*能夠檢測至ng/g(ppb)級的檢測器。
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