產品介紹：全氟醚橡膠材料是目前所有彈性密封材料中耐高溫、耐化學溶劑性能及高潔凈特性的橡膠材料，耐化學藥品及腐蝕性介質（耐強酸、強堿、醚類、酮類、酯類、含氮化合物、碳化氫類、醇類、醛類、油，蒸汽類、胺基化合物等１６００多種化學產品的腐蝕），耐溫可達327℃ ，在半導體工業、化學處理工藝、汽車工業、石油工業、制藥工業、電子產品、溶劑設備、核工業、航天設備及其他耐熱機械等，在苛刻的環境中，充分發揮其的作用。

應用范圍： ①優秀的拉伸強度（TS~15-20MPa）；

.. ②極低的壓縮*變形（～20％-70h◎200℃）；

.... ③*的耐溫性能（327℃）；

.... ④的耐化學性能（耐無機酸、有機酸；銅、酯、醚類；呋喃、醛類；含氮化合物；碳化氫；醇類；油、蒸汽類及其他1600

。。。。。。多種化學藥品）；

供應形式： ①O-RING（O型圈系列）；

..②X-RING（星型圈系列）；

.. ③Oil Seal（油封系列）；

.. ④GASKET（墊片系列，非標件）；

在半導體行業的解決方案

 Hillraz®全氟化橡膠零部件成功應用于半導體加工工業，該領域對熱穩定和耐化學要求*。由于清潔度對半導體晶體產量至關重要，因此減少由密封失效產生的問題，諸如顆粒雜質、漏氣、擠出成為半導體制造者的主要目標。

 耐化學性和的耐高溫性使 Hillraz®零部件可承受任何加工中介質，包括在溫度高達 327 ℃ plasma 和各種氣體混合。

根據特殊需求選擇 Hillraz®零部件的不同化合物，可在晶體加工過程中改進密封性能，包括熱性能，氣體分解， plasma 腐蝕灰化和濕制成。所有應用于半導體領域的  Hillraz®零部件都在 Class 100 清潔室做超純試驗后清潔和包裝，以便減少污染。