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曝光機(jī)

具體成交價以合同協(xié)議為準(zhǔn)
  • 公司名稱 鑫有研電子科技有限公司
  • 品牌
  • 型號
  • 產(chǎn)地
  • 廠商性質(zhì) 生產(chǎn)廠家
  • 更新時間 2016/4/12 20:45:23
  • 訪問次數(shù) 598
產(chǎn)品標(biāo)簽

光刻機(jī)

聯(lián)系我們時請說明是化工儀器網(wǎng)上看到的信息,謝謝!












“SIYOUYEN”概念源自于21世紀(jì)初期美國,意為科技在社會技術(shù)方面應(yīng)用的*體現(xiàn)。擁有“*生活,*科技”之桂冠美譽(yù)。

商標(biāo)持有人:鑫有研企業(yè)集團(tuán)(香港)有限公司系一家專注于微電子工藝設(shè)備技術(shù),真空技術(shù),傳動控制技術(shù)等科技類投資型企業(yè)公司。公司投資合作伙伴有意大利MICHELLE集團(tuán)與香港CIG集團(tuán)。

1、微電子工藝設(shè)備方面

SIYOUYEN公司在半導(dǎo)體、太陽能、FPD領(lǐng)域濕制程設(shè)備的設(shè)計、研發(fā)、生產(chǎn)及銷售;同時代理半導(dǎo)體、太陽能、FPD領(lǐng)域及其它國外設(shè)備,負(fù)責(zé)在中國市場的開發(fā)、推廣、服務(wù)!

2、真空技術(shù)設(shè)備方面

SIYOUYEN公司在真空行業(yè)領(lǐng)域,通過引近韓國、德國*的真空技術(shù)與合作,開發(fā)出了旋片真空泵,無油真空泵,防爆真空泵等。同時與韓國WONCHANG,韓國DOOVAC,韓國NARA,韓國G&M,韓國KMC,意大利DVP,等形成戰(zhàn)略聯(lián)盟,致力于真空技術(shù)的推廣與銷售。

3、傳動控制技術(shù)方面

SIYOUYEN公司在傳動技術(shù)方面與國家各個重點科研領(lǐng)域機(jī)構(gòu)合作(質(zhì)檢,光學(xué),教育,航天,海洋,石油,制藥,檢測等)共同致力于節(jié)能減排低碳環(huán)保,涉及節(jié)能環(huán)保技術(shù)、設(shè)備、產(chǎn)品和服務(wù)等方面

鑫有研公司在設(shè)計,制造,銷售,服務(wù)過程中嚴(yán)格按照ISO9001:2000質(zhì)量管理體系執(zhí)行。并且本公司擁有一批技術(shù)*、服務(wù)優(yōu)良的高素質(zhì)人才,和完善的售后服務(wù)體系。產(chǎn)品以其*的品質(zhì)進(jìn)入國內(nèi)市場,為國家重點工程配套、環(huán)保工業(yè)、科研、信息產(chǎn)業(yè)等做出了較大的貢獻(xiàn),獲得了廣大用戶的好評和信賴。

我們將繼續(xù)以嚴(yán)謹(jǐn)?shù)膽B(tài)度始終堅持保證產(chǎn)品品質(zhì)和信譽(yù)為本,用戶*的經(jīng)營原則,不斷創(chuàng)造、創(chuàng)新服務(wù)于用戶。


鑫有研(SIYOUYEN)公司及其“SIYOUYEN”品牌在中國的發(fā)展歷程

2004年SIYOUYEN公司進(jìn)入中國

2005年成為中國財富論壇會員單位

2005年獲得中國半導(dǎo)體行業(yè)協(xié)會會員單位

2006年成為中國真空學(xué)會會員單位

2007年通過ISO9001:2000質(zhì)量管理體系認(rèn)證

2008年獲得中國商標(biāo)

2009年SIYOUYEN獲得(香港頒發(fā))亞洲證書

2010年SIYOUYEN獲得中國質(zhì)量500強(qiáng)

2010年SIYOUYEN獲得中國品牌500強(qiáng)

2010年SIYOUYEN獲得上海市誠信AAAA企業(yè)證書



光刻機(jī),顯影機(jī),勻膠機(jī),光刻機(jī),烤膠機(jī)無油真空泵

 

URE-2000系列光刻機(jī)
型號:17

 
 

 

一.     技術(shù)特征
1、采用多反射鏡實現(xiàn)均勻照明;   
2
、采用球氣浮找平,調(diào)平精度高;      
3
、高倍率雙目雙視場顯微鏡和19英寸寬屏液晶顯示同時觀察對準(zhǔn)過程,
并提供USB輸出;既滿足高精度對準(zhǔn),又可用于檢測曝光結(jié)果,且曝光
結(jié)果和方便存儲;    
4
、曝光波長采用純凈365nm,冷光照明(曝光面能量5mW/cm ,溫度小于35度)       
5
、手動上下版、樣片,手動調(diào)平;手動分離間隙。       
6
、快門可以單獨開啟,也可以數(shù)字設(shè)定自動倒計時曝光(設(shè)定范圍0.1s-9999s       
7
、采用200W進(jìn)口(德國)直流汞燈,可調(diào)節(jié)光的能量密度;設(shè)備外形美觀精制
性能非常可靠
 
 
二、主要技術(shù)指標(biāo): 
1、曝光面積:ф100mm; 
2、分辨力:  1.7µm(膠厚2 µm的正膠); 
3、對準(zhǔn)精度:  ±1µm;   
4、掩模樣片整體運(yùn)動范圍:X:6mm;Y:6mm; 
5、掩模尺寸:2.5 inch、3 inch、4 inch、5 inch; 
6、樣片尺寸:直徑ф15mm-- ф100mm、 
        厚度0.1mm--6mm(可擴(kuò)展為15mm); 
7、照明均勻性:±6%(ф100mm 范圍); 
8、掩模相對于樣片運(yùn)動行程:X: ±5mm;  Y: ±5mm; θ: ±6°; 
9、汞燈功率:200W(直流);
10、曝光波長:365nml      
11、曝光能量密度:6mW/cm (420nm以上波長小于0.2mW/cm )l     
12、曝光方式:定時(到計時方式)
13、外形尺寸:650mm(長)´600mm(寬)´900mm(高)
 


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