特點:
YX-2D6晶體定向儀是在標準定向儀基礎上,針對單晶硅、砷化稼等多種晶體設計,主要用于晶圓片、晶棒的測量,對管套、測角儀進行改進,顯示器為外置式,樣品臺加裝承重軌道,可測2---6英寸晶圓片,長400毫米,重30公斤的晶棒;主要測量晶面角度:110 、111 、 100、511等及其它相關晶體的晶向角度。
YX-2D6射線晶體定向儀標準配置為GA、GC、測角儀。
兩邊測角儀用戶也可根據本公司晶體規格、形狀選配不同型號測角臺,請參考我公司設計的G系列測角儀(GA、GB、 GC、 GE、 GF、GH)型號選購.
晶棒直徑 | 2-6英寸 |
晶棒長度 | 400mm |
樣品板面積 | 42×70 mm |
綜合精度 | ±30″ |
顯 示 器 | 外置式 |
顯示zui小讀數 | 10″ |
數字顯示 | 外置 |
電路原理 | YX-2 |