磁懸浮軸承型復合分子泵TG-M系列

渦輪分子泵由多層轉子葉片和定子葉片組成。 下圖所示的是葉片的角度以及旋轉方向的關系 氣體分子從高真空側進入泵內，附著于轉子葉片后將按照麥克斯韋分布朝不同方向脫離。 然而，由于葉片的傾斜角度和旋轉，分子飛入下一層，并且容易穿過定子葉片再向下。 同時，從下層飛入并通過固定葉片后逆行的氣體分子，也能通過與轉子葉片碰撞再次飛到下一層。 葉片的角度是，上層的氣體分子容易通過(排氣方向的流向和逆流的差較大)的角度，而下層的氣體分子不容易逆行的(排氣方向的流向和逆流的比較大)角度。 在分子流域，渦輪分子泵是通過該轉子葉片和定子葉片發揮基本性能

主要特點

?無油的超真空環境

?機械式的氣體分子排氣(動態排氣),對所有的氣體的排氣速度大致相同

?可排稀有氣體和腐蝕性氣體

?可連續排大流量氣體

?可工作的壓力范圍寬。 (～10-10Pa）.

OSAKA磁懸浮軸承型復合分子泵TG-M系列

使用磁懸浮軸承實現無油的排氣，而且維護周期長。提供排氣速度300L/s～3400L/s的產品。

TG397M / TG427M / TG907M / TG1307M

新型磁懸浮軸承型渦輪分子泵TG397M / TG427M / TG907M / TG1307M 的特長

• 省電力設計

• 工作數據，軸承接觸次數，機種情報等都可存儲于分子泵本體                                                                                                                                     ※進行保養時即使更換控制器，數據也可進行轉移

• 多種通信規格(可對應EtherCAT)

• 國際規格

• 符合CE，SEMI-S2，NRTL規格

  應用場合：

  
  

• 半導體制造設備

• FPD制造設備

• 太陽能電池制造設備

• 玻璃/鏡片等光學部件加工

• 薄膜加工

• 加速器/宇宙環境實驗設備

  技術參數：

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