2025-03-10
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三豐WLI-Unit白光干涉光學(xué)單元顯微鏡，可利用白光干涉原理實(shí)現(xiàn)非接觸式高精度細(xì)微表面性狀測量
三豐WLI-Unit白光干涉光學(xué)單元顯微鏡，可利用白光干涉原理實(shí)現(xiàn)非接觸式高精度細(xì)微表面性狀測量
● 不依賴于光學(xué)倍率的高度測量精度
即使是低倍率鏡頭，也可使用Z向高分辨力進(jìn)行測量
● 高縱橫比測量
不依賴于光學(xué)系統(tǒng)的NA進(jìn)行檢測，支持高縱橫比形狀測量
● 抗干擾震動(dòng)的高穩(wěn)定性
● 小型輕便
三豐WLI-Unit白光干涉光學(xué)單元顯微鏡，可利用白光干涉原理實(shí)現(xiàn)非接觸式高精度細(xì)微表面性狀測量
產(chǎn)品陣容
型號 Z向移動(dòng)范圍 Z向分辨力
WLI-Unit-003 8000μm -
WLI-Unit-005 8000μm 4nm
WLI-Unit-010 8000μm 4nm
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巴斯德儀器（蘇州）有限公司
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