測量元素范圍

CI(17)/AI(13)-U(92)

涂鍍層分析范圍

Li(3)-U(92)

RoHS

可選配

算法

自主研發的EFP算法

軟件操作

人性化封閉軟件，自動判斷故障提示校正及操作步驟，避免誤操作

X射線裝置

微聚焦射線管

準直孔

Ф0.1mm/Ф0.2mm/0.5mm/5mm(選配四準)

信號及接收

Pro-SD處理器+PC/DPP+FAST SDD(選配)

濾光片

選配集成嵌入式多濾光片切換裝置

微光聚焦技術

最近測距光斑擴散度 10%

測量距離

具有距離補償功能，可改變測量距離測量凹凸異形樣品，變焦距離可達0-30mm

樣品觀測

1/2.7”彩色CCD，變焦功能

對焦方式

高敏感鏡頭，手動對焦

放大倍數

光學38-46X，數字放大40-200倍

儀器尺寸

550mm*360mm*410mm

樣品艙尺寸

長400mmx寬320mmx高150mm

樣品臺移動

選配高精密XY手動移動平臺

可移動范圍

50mm*50mm