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IGAR 6-TV Smart-半導體晶體生長測溫儀

2025-04-15

產      地:
德國
所在地區:
上海上海市
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IGAR 6 Smart紅外高溫計是一種數字,緊湊和快速的高溫計,根據不同的要求,可以在不同的模式下工作。 除了單色模式(100 ... 2550°C),還可以選擇雙色模式(250 ... 2550°C)或特殊的智能模式。在智能模式下,在100 ... 2550°C范圍內的測量將采用單色模式,而在250 ...2000°C的范圍內,測量將采用雙色方法(比例法)。 在此模式下,用戶可以設置溫度。此時儀器從 單色模式轉換到 雙色模式(低轉變溫度:250°C,最小轉變范圍:30°C)。在雙色模式(比例法)中,兩個相鄰的波長用于溫度確定。 與標準單色高溫計相比,該技術具有以下優點:溫度測量在很大程度上獨立于對象的發射率并且在大范圍內不受視場中的灰塵和其它污染物的影響。 測量對象可以小于光斑尺寸。

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可解決的問題

  • 被測物可能被離子云包裹

  • 多次加熱工況中,對測溫儀重復性與穩定性要求高

  • 襯底材料會發生變化,要求測溫儀有不同的應對方案

  • 須透過視窗測量,最好推薦使用紅外視窗材料

場景特點

  • 需維持在高溫狀態(LPCVD 500~800℃,MOCVD 500~1200℃)

  • 生產過程中隨著反應狀態的變化,溫度也需進行調整,故而對測溫儀的響應速度要求較高

技術參數

測溫范圍:

單色: 100 to 2550 °C

雙色: 250 to 2550 °C

子范圍:任何溫度范圍內可調范圍,最小量程50°C

波段:Channel 1: 1.5 ... 1.6 μm;Channel 2: 2.0 ... 2.5 μm

發射率:0.050 到 1.000 ,0.001調節(單色模式)

分辨率:

在串口處:0.1°C;模擬輸出:<所選子范圍的0.0015%,最小。 0.1℃,16位; 1°C或1°F

鏡頭:可從后蓋手動對焦測量距離a = 210 至5000 mm

環境溫度:0 to 65°C 外殼

存儲溫度: -20 to +80°C

連接:12針連接器

防護等級:IP65 (IEC 60529)

環境溫度: 0 to 65°C 外殼

存放溫度:-20 to 80°C

模擬輸出:可調0至20 mA或4至20 mA,線性(通過數字接口)






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