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原裝愛德華爪式真空泵消音器訂貨號A52819000,適用型號(GV80、CDP80、CDP40、
QDP80),排氣消聲器衰減來自泵的排氣壓力中的脈沖,并減少排氣系統(tǒng)中泵引起的共振。
排氣消聲器適用于半導(dǎo)體應(yīng)用中常用的所有腐蝕性氣體和部分揮發(fā)性氣體,其設(shè)計便于維護。
排氣消音器的安裝必須由經(jīng)過適當(dāng)培訓(xùn)和監(jiān)督的技術(shù)人員進行,當(dāng)你安裝排氣消聲器時,尤其是當(dāng)你
連接到一個現(xiàn)有的系統(tǒng)時,遵守下面列出的安全程序。具體的安全預(yù)防措施的細節(jié)在說明書中的適當(dāng)
位置給出。
EDWARDS GV Drystar泵能夠處理大是粉塵和水蒸汽,在保持高可重復(fù)性、高性能和高可靠性的同時
不會帶來制程污染的風(fēng)險。Drystar真空泵可以與Edwards EH系列機械增壓泵結(jié)合以提高泵送性能。
功能和優(yōu)勢
可靠耐用的韌性鐵構(gòu)造。
具有重復(fù)泵送能力。
能夠控制泵溫。
優(yōu)異的灰塵和蒸汽處理能力。
具有一勞永逸的性能。
使用現(xiàn)有過濾器可以很好的處理灰塵。
降低了噪音和振動。
排放的煙霧中不含油。
無需進行油回收,排放區(qū)域環(huán)境清潔。
延長了正常動行時間。
節(jié)省維護成本。
可連續(xù)在大氣壓下泵送,對泵無有害影響。
東莞比其爾真空機電設(shè)備有限公司
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