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預算超2.8億!中國科學院微電子研究所近期采購意向來了
2025年02月17日 11:23:10 來源:化工儀器網 點擊量:6653

近期,中國科學院微電子研究所連續發布多項儀器設備采購意向,預算金額達28366萬元。涉及儀器設備包括全自動光學顯微鏡、刻蝕設備、X射線光電子能譜儀、等離子體增強化學氣相沉積設備、干法去膠機等。

  近期,中國科學院微電子研究所連續發布多項儀器設備采購意向,預算金額達28366萬元。涉及儀器設備包括全自動光學顯微鏡、刻蝕設備、X射線光電子能譜儀、等離子體增強化學氣相沉積設備、干法去膠機等。預計采購時間2025年3至6月。
 
  采購意向只是政府采購的初步安排,具體采購情況以中國科學院微電子研究所發布的采購公告和采購文件為準,有意向的企業可持續關注該研究所發布的招標信息。
 
  中國科學院微電子研究所采購預算匯總
 
  

采購項目名稱

采購需求概況

預算金額(萬元)

預計采購日期

硅片

制備半導體器件,數量700片

150

2025年02月

4G-LTE Cat.1通信SOC芯片晶圓

4G-LTE Cat.1通信的SOC芯片及其配套的PMIC芯片,晶圓數量各1張

160

2025年03月

高溫集成電路與元器件

高溫集成電路與元器件

140

2025年03月

全自動光學顯微鏡

全自動光學顯微鏡1臺

150

2025年04月

新型存儲器刻蝕系統

新型存儲器刻蝕系統1臺

1500

2025年04月

激光發生裝置

激光發生裝置

130

2025年04月

12英寸槽式小尺寸高精度橫向濕法刻蝕設備

12英寸槽式小尺寸高精度橫向濕法刻蝕設備1臺

3800

2025年04月

數模混合綜合老化系統

數?;旌暇C合老化系統1臺

114

2025年04月

穩態熱阻測試系統

穩態熱阻測試系統1臺

115

2025年04月

三維集成封裝動態數字全息顯微分析儀

三維集成封裝動態數字全息顯微分析儀1

252

2025年05月

低溫變頻C-V測試設備

低溫變頻C-V測試設備

350

2025年05月

透射電子顯微鏡(TEM)、聚焦離子束顯微鏡(FIB)以及二次離子質譜(SIMS)等半導體測試分析

透射電子顯微鏡(TEM)、聚焦離子束顯微鏡(FIB)以及二次離子質譜(SIMS)等半導體測試分析

1000

2025年05月

離子刻蝕機

離子刻蝕機1臺

810

2025年05月

光譜檢測儀

日本橫河 AQ6380 光譜檢測儀1 臺

100

2025年06月

低頻阻抗分析儀

低頻阻抗分析儀1 臺

100

2025年06月

X射線光電子能譜儀

X射線光電子能譜儀

900

2025年06月

激光隱形切割成套設備

激光隱形切割成套設備

1000

2025年06月

12吋晶圓等離子劃片機

12吋晶圓等離子劃片機

1880

2025年06月

12吋晶圓級激光去膠開槽設備

12吋晶圓級激光去膠開槽設備

800

2025年06月

12吋晶圓級無機紅外拆鍵合設備

12吋晶圓級無機紅外拆鍵合設備

5300

2025年06月

翹曲測量儀

翹曲測量儀

620

2025年06月

12吋物理氣相沉積設備

12吋物理氣相沉積設備

2300

2025年06月

PVTC-A1比容量儀

PVTC-A1比容量儀

245

2025年06月

流片

流片50顆

100

2025年06月

低噪聲高頻信號發生器

低噪聲高頻信號發生器1臺

180

2025年06月

high-K介質電感耦合等離子體刻蝕設備

high-K介質電感耦合等離子體刻蝕設備1臺

900

2025年06月

干法去膠機

干法去膠機1臺

200

2025年06月

高深寬比橫向濕法刻蝕設備

高深寬比橫向濕法刻蝕設備1臺

1210

2025年06月

金屬及金屬氧化物原子層沉積設備

金屬及金屬氧化物原子層沉積設備1臺

1800

2025年06月

金屬及金屬氧化物電感耦合等離子體刻蝕設備

金屬及金屬氧化物電感耦合等離子體刻蝕設備1臺

860

2025年06月

等離子體增強化學氣相沉積設備

等離子體增強化學氣相沉積設備1臺

1200

2025年06月

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