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新成果:世界首套超快掃描電子顯微鏡系統問世

2024年06月28日 14:55:54來源:化工儀器網點擊:8692
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  【化工儀器網 項目成果】掃描電子顯微鏡是一種用于高分辨率微區形貌分析的大型精密儀器。具有景深大分辨率高、成像直觀立體感強放大倍數范圍寬以及待測樣品可在三維空間內進行旋轉傾斜等特點。其被廣泛應用于生命科學、材料學以及工業生產等眾多領域的微觀研究中。
 
  近日,南開大學物理科學學院超快電子顯微鏡實驗室付學文教授團隊成功研制并報道了國際首套超快掃描電子顯微鏡(SUEM)與超快陰極熒光(TRCL)多模態載流子動力學探測系統
 
  據了解,該系統在飛秒超快電子模式下實現了空間分辨率優于10 nm,SUEM成像和TRCL探測的時間分辨率分別優于500 fs4.5 ps,各項技術性能和參數指標達到國際領先水平。
 
  該團隊利用該多模態載流子動力學探測系統在飛秒與納米時空分辨尺度直接追蹤了n型摻雜砷化鎵(n-GaAs)半導體中的光生載流子的復雜動力學過程,結合SUEM成像和TRCL測量成功區分了其表面載流子和體相載流子的動力學行為,全面直觀地給出了其光生載流子動力學的物理圖像。
 
  超快掃描電子顯微鏡與超快陰極熒光多模態載流子動力學探測系統的成功研制填補了我國在該技術領域的空白,為研究和解耦半導體中復雜的光生載流子動力學過程提供了一個強有力的高時空分辨測量平臺,將為新型半導體材料與高性能光電功能器件的開發提供重要支撐。
 
  在科學的道路上,每一次技術的突破都是對未來的一次更深的探索。南開大學團隊的成就,無疑為我們打開了一扇通往未知世界的大門。隨著這一超快顯微鏡系統的進一步應用和研究,更多的科學謎題將被解開,更多的技術壁壘將被打破。

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