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工信部對《半導體設備 集成電路制造用干法刻蝕設備測試方法》等196項行業標準公開征集意見
2023年11月17日 10:46:04
來源：化工儀器網 點擊量：19249
根據標準化工作的總體安排，現將申請立項的《半導體設備 集成電路制造用干法刻蝕設備測試方法》等196項行業標準、《雪蓮養護貼》等1項行業標準外文版項目和《環境污染防治設備 術語》等38項推薦性國家標準計劃項目予以公示（見附件1、2、3），截止日期為2023年12月16日。
【化工儀器網 標準發布】 半導體設備是集成電路制造的核心設備之一，對于半導體產業的發展具有至關重要的作用。為了適應行業發展需求，提高設備性能和質量，工信部制定了《半導體設備 集成電路制造用干法刻蝕設備測試方法》等196項行業標準，旨在規范設備的技術指標、測試方法、操作規程等方面的內容。
這196項行業標準涉及了半導體設備的多個方面，包括設備的技術指標、測試方法、操作規程、維護保養等方面的內容。其中，《半導體設備 集成電路制造用干法刻蝕設備測試方法》主要規定了集成電路制造用干法刻蝕設備的測試方法，包括設備的性能測試、可靠性測試、安全性測試等方面的內容。
根據標準化工作的總體安排，現將申請立項的《半導體設備 集成電路制造用干法刻蝕設備測試方法》等196項行業標準、《雪蓮養護貼》等1項行業標準外文版項目和《環境污染防治設備 術語》等38項推薦性國家標準計劃項目予以公示(見附件1、2、3)，截止日期為2023年12月16日。
具體原文如下：
公開征集對《半導體設備 集成電路制造用干法刻蝕設備測試方法》等196項行業標準、1項行業標準外文版和38項推薦性國家標準計劃項目的意見
根據標準化工作的總體安排，現將申請立項的《半導體設備 集成電路制造用干法刻蝕設備測試方法》等196項行業標準、《雪蓮養護貼》等1項行業標準外文版項目和《環境污染防治設備 術語》等38項推薦性國家標準計劃項目予以公示(見附件1、2、3)，截止日期為2023年12月16日。如對擬立項標準項目有不同意見，請在公示期間填寫《標準立項反饋意見表》(見附件4)并反饋至我司，電子郵件發送至KJBZ@miit.gov.cn(郵件主題注明：標準立項公示反饋)。
公示時間：2023年11月16日-2023年12月16日
聯系電話：010-68205241
地址：北京市西長安街13號 工業和信息化部科技司
郵編：100804
附件：
1.《半導體設備 集成電路制造用干法刻蝕設備測試方法》等196項行業標準制修訂計劃(征求意見稿)
2.《雪蓮養護貼》等1項行業標準外文版計劃(征求意見稿)
3.《環境污染防治設備 術語》等38項推薦性國家標準制修訂計劃(征求意見稿)
4.標準立項反饋意見表
工業和信息化部科技司
2023年11月16日
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