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預(yù)算200萬 清華大學(xué)采購原子層沉積系統(tǒng)
2022年12月01日 11:24:25
來源：化工儀器網(wǎng) 作者：吳吳吳 點擊量：4818
清華大學(xué)預(yù)算200萬購置1套原子層沉積系統(tǒng)。
【化工儀器網(wǎng) 市場商機】原子層沉積是一種可以將物質(zhì)以單原子膜形式一層一層的鍍在基底表面的方法。原子層沉積與普通的化學(xué)沉積有相似之處。但在原子層沉積過程中，新一層原子膜的化學(xué)反應(yīng)是直接與之前一層相關(guān)聯(lián)的，這種方式使每次反應(yīng)只沉積一層原子。
近日，清華大學(xué)就“清華大學(xué)原子層沉積系統(tǒng)購置項目”發(fā)布公開招標公告，預(yù)算200萬，購置1套原子層沉積系統(tǒng)，項目情況如下。
項目基本情況
項目編號：CMEETC-227XO113KK533(清設(shè)招第20221139號)
項目名稱：清華大學(xué)原子層沉積系統(tǒng)購置項目
預(yù)算金額：200.0000000 萬元(人民幣)
最高限價(如有)：200.0000000 萬元(人民幣)
采購需求：
采購需求
設(shè)備用途介紹：原子層沉積設(shè)備用于制備原子尺度的Al2O3、TiO等金屬氧化物材料，可在平板襯底、溝槽結(jié)構(gòu)表面、不規(guī)則樣品表面沉積均勻、致密的原子層級別的薄膜。設(shè)備可用于生長多種氧化物薄膜，可應(yīng)用于材料學(xué)、物理學(xué)、化學(xué)、微電子、光電子、能源、催化、納米技術(shù)、太陽能電池等領(lǐng)域。
簡要技術(shù)指標：前驅(qū)源鋼瓶容量 50 毫升；前驅(qū)源脈沖時間可精確控制到 0. 015s. 以 TMA 為例，其脈沖時間可短到0.015s；膜厚均勻性：≤±1.5% 1-sigam (以 Al2O3 熱生長方式為例，4 英寸硅片)；詳見公告附件。
合同履行期限：合同簽訂后200日內(nèi)完成設(shè)備交貨、安裝及調(diào)試工作。
本項目( 不接受 )聯(lián)合體投標。
申請人的資格要求
1.滿足《中華人民共和國政府采購法》第二十二條規(guī)定；
2.落實政府采購政策需滿足的資格要求：
本項目不專門面向中小企業(yè)預(yù)留采購份額
3.本項目的特定資格要求：詳見附件。
獲取招標文件
時間：2022年12月01日 至 2022年12月08日，每天上午9:00至11:30，下午13:30至19:00。(北京時間，法定節(jié)假日除外)
地點：北京市海淀區(qū)車公莊西路乙19號華通大廈B座南塔14層
方式：詳見杜建。
售價：￥500.0 元，本公告包含的招標文件售價總和
提交投標文件截止時間、開標時間和地點
提交投標文件截止時間：2022年12月21日 14點00分(北京時間)
開標時間：2022年12月21日 14點00分(北京時間)
地點：北京市海淀區(qū)車公莊西路乙19號華通大廈B座南塔14層
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