探討半導體行業超精密分析需求 “半導體超精密分析技術及應用線上論壇”圓滿落幕
【化工儀器網 會議新聞】隨著智能化、集成化成為科技發展的一個重要方向,集成電路、消費電子、通信系統等熱門領域得到高速發展的同時,也刺激著半導體市場的不斷推進。半導體產業對國家發展的意義,對人民生活的影響因此日漸突出。
而我國盡管是全球主要的電子信息制造業基地,擁有大規模的半導體市場,但高性能半導體制造技術卻頻頻受限。尤其是在微米量級領域,更直接面臨著器件尺寸對測試技術提出的挑戰。因此,從半導體的材料開發,到半導體器件和高純材料的測試精度和效率,再到半導體加工技術,是我國分析科學家及儀器廠商一直在不斷努力解決的問題。
基于此,化工儀器網于2022年10月20日舉辦了主題為“半導體超精密分析技術及應用線上論壇”的線上研討會,邀請了西安交通大學教授楊樹明、天津三英精密儀器股份有限公司應用工程師李策、北京大學授級高工楊學林、牛津儀器納米分析部應用科學家馬嵐、浙江大學教授朱巖、東華理工大學副教授徐加泉、天津大學精密測試技術及儀器國家重點實驗室英才副教授徐宗偉、徠卡顯微系統(上海)貿易有限公司應用工程師包沈源、賽默飛世爾科技應用科學家李小波交流技術分享經驗。一場場精彩的報告為觀眾留下了深刻的印象。
此次研討會分為上午場與下午場,上午場于10月20日上午9時30分準時開始。
面向半導體芯片制造的超精密檢測技術
西安交通大學教授楊樹明
高分辨CT和高速CT在電子制造領域的應用
天津三英精密儀器股份有限公司應用工程師李策
天津三英精密儀器股份有限公司應用工程師李策
GaN基材料外延生長及C雜質相關缺陷檢測技術
北京大學授級高工楊學林
EDS及EBSD在GaN中的應用進展
牛津儀器納米分析部應用科學家馬嵐
稍作休息后,下午場的報告于10月20日下午2時準時開始。
直接質譜技術在半導體領域的應用
東華理工大學副教授徐加泉
寬禁帶半導體原子尺度制造的機遇與挑戰
天津大學精密儀器工程系副系主任徐宗偉
徠卡電鏡制樣產品應用之半導體器件制樣方式與技巧
徠卡顯微系統(上海)貿易有限公司應用工程師包沈源
ICPMS在有機溶劑及聚合物中金屬雜質檢測的應用
賽默飛世爾科技應用科學家李小波
賽默飛世爾科技應用科學家李小波
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