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ICP光譜儀的目標元素
ICP光譜儀軟質樣品（例如：銅、鋁、鋅、鉛）必須車削表面或用酒精濕磨.磨好的表面一定不要玷污（例如用手觸摸）.考慮到金屬熱漲冷縮效應,會影響光線穩定性.溫度變化會影響儀器的熱平衡,對接收器和一些電器件會造成不穩定,若溫差較大對光路也會有影響.
ICP光譜儀對于鋼和鑄鐵（顆粒大小,對鋼是60到80之間,對鑄鐵是40到60之間）,建議用適合于本儀器樣品的砂紙干磨.砂紙一定不要被高合金含量的樣品污染（例如：應該先用于低合金樣品，再用于高合金樣品）.樣品必須在清潔的、規范的砂紙上磨（沒有先前激發處理留下的激發的痕跡）.樣品表面不能被拋光（適時更新用過的砂紙）.必須確保樣品在磨的過程中沒有過熱（樣品應該與砂紙只有短暫的接觸）。如果需要，樣品應該用水冷卻，再干燥，再盡可能短的時間干磨.
ICP光譜儀可用標樣中目標元素的“真實濃度”與分析線對和強度比（R）擬合工作曲線（校準曲線）。如果鐵含量變化過大，如高、中合金鋼，其影響不可忽略，需要用標樣中目標元素的“相對濃度”（或“濃度比”）與分析線對和強度比（R）擬合工作曲線，這就是我國光譜分析的前輩講的“誘導含量法”。如果希望用同一工作曲線同時分析高、中、低合金鋼，那就都要用“相對濃度”來校正基體含量的影響。更進一步，如果既要校正基體含量的影響，又要校正共存元素的干擾，就應該用“表觀濃度”來擬合工作曲線。
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