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真空泵這種機械在其發展起初結構已經開始定在那里了，我們現在所見到的真空泵產品大多結構和以前都有所類似，從機械歷史文化的角度發展來看真空泵在當前已經發展成一種比較成熟的產品了，中可以用來在某一封閉空間中改善、產生和維持真空的裝置隨著真空技術在生產和科學研究領域中對其應用壓強范圍的要求越來越寬，大多需要由幾種真空泵組成真空抽氣系統共同抽氣后才能滿足生產和科學研究過程的要求，由于真空應用部門所涉及的工作壓力的范圍很寬，因此任何一種類型的真空泵都不可能*適用于所有的工作壓力范圍，只能根據不同的工作壓力范圍和不同的工作要求，使用不同類型的真空泵。為了使用方便和各種真空工藝過程的需要，有時將各種真空泵按其性能要求組合起來，以機組型式應用。
真空泵的工作范圍
| 泵種類 | 油封機械泵 | 水蒸汽噴射泵 | 羅茨泵 | 油增壓泵 | 油擴散泵 |
| *工作范圍(Pa) | 105～10 | 105～102 | 102～1 | 1～10-1 | 5×10-2～10-4 |
真空泵的定律及公式
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