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在線測量煙氣中的水分含量，簡稱煙氣濕度儀。目前CEMS中煙氣濕度測量、成熟的測量原理是電容法（阻容法）。其測量原理是依據煙氣排放中含濕量變化與阻容法的電阻和電容值的變化間的函數關系，直接測量煙氣排放中的含水量（體積比）。該測量原理具有測試靈敏、方法簡單、實時在線測量、對其他氣體無交叉干擾等優點，缺點是不能在高溫（180℃以上）、高濕（16%VOL以上）、強腐蝕（強酸或強堿工況）下使用。
我司引進瑞士*薄膜電容法傳感器，克服了電容法（阻容法）測量受制的條件，能在高溫220℃以下，高濕40%以下測量，并具有穩定的抗干擾能力，*適用于國內任何復雜、惡劣工況下使用。且壽命是傳統阻容法的一倍以上。
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