本所自開發RTP快速退火系列產品以來已近30年。自1988年受中科院委托研發光照快速熱處理設備以來與清華，北大，浙大，半導體所，微電子所，物理所等高校研究所共同進步，為華為，三安光電，中電科等半導體企業保駕護航，也被一些海外的教授專家所青睞。如香港理工大學，香港中文大學，香港科技大學。美國堪薩斯州立大學，美國揚斯頓州立大學和新加坡南洋理工大學也有數臺在科研教學一線。