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KLA Instruments太陽能電池量測解決方案2025/03/30
太陽能電池大多由單晶硅或多晶硅制成，將晶硅錠加工成太陽能電池需要一系列制造工藝，包括晶圓切割、制絨、酸洗、擴散、刻蝕、減反膜沉積、激光開槽、接觸印刷等。下圖為工藝流程中的測量節點。太陽能電池工藝流程中的量測節點,包括金剛石切割線的表面形貌、硅片翹曲/表面粗糙度/邊緣倒角、電池片表面金字塔絨面高度和寬度的表征、減反膜厚度和反射率，以及激光開槽、太陽能金屬柵線和主柵線的形貌。本篇應用說明主要介紹采用KLAInstruments的Zeta™3D光學輪廓儀對太陽能電池的表面金字塔結構、激光開槽、金屬柵線
薄膜方塊電阻和厚度測量—KLA45年電阻測量技術創新的桌面型解決方案2025/03/30
在半導體芯片等器件工藝中，后道制程中的金屬連接是經過金屬薄膜沉積，圖形化和蝕刻工藝，最后在器件元件之間得到導電連接。對于半導體、PCB、平板顯示器、太陽能應用和研發等不同行業，對各種金屬層（包括導電薄膜、粘附層和其他導電層）都有各種各樣的電阻和厚度的量測需求，KLAInstruments™Filmetrics®事業部能夠提供先進的薄膜電阻測量解決方案。金屬薄膜的電阻測量主要包括兩種技術：四探針法和渦流法。兩種測量技術各有其優勢，適用于不同的應用場景。我們先來了解一下這兩種技術的測量原理。什么是四
新應用—KLA納米壓痕儀對電池材料的測量2025/03/30
電池的應用極為廣泛，其通常以電化學反應池的形式為各類裝置供電。電池內在失效和劣化對電池性能有重大影響，而其機制依賴于不同組成材料之間的電化學反應和納米力學相互作用。下一代電池要求高能量密度和高充放電倍率（C-rate，充放電速率的一種衡量標準）。為此，業界在新材料、制造工藝和集成工藝等方面做出了巨大努力，以優化電池在更寬溫度范圍內的性能。為了提高良率并擴大生產規模，了解電池的失效模式及其根本原因至關重要。典型的電池失效模式可分為三類：力學失效、熱失效和電氣失效。01電池制造典型的電池制造流程包括
基于KLA探針式輪廓儀的薄膜應力測量2025/03/29
隨著器件尺寸不斷縮小，表面翹曲度可能引發一些問題從而影響器件的正常功能。在半導體中，薄膜應力對半導體能帶隙偏移、超導轉變溫度和磁各向異性等電子特性有直接影響。在器件制造過程中，監控因薄膜沉積而產生的應力至關重要。在薄膜層面，應力通常會影響薄膜的附著力并產生晶格缺陷和表面再構，從而限制厚層薄膜的生長。在器件層面，應力的形成很少會直接導致良率下降，而是會縮短產品使用壽命。使用壽命縮短會導致每年在產品服務和保修方面花費數百萬美元，這是一個重大問題。結合成熟的應力計算理論模型與KLA探針式輪廓儀的精密測
IC載板制造商需要了解的光刻技術信息2025/03/28
圖像轉移，也稱為光刻技術（或簡稱光刻），在PCB的電路圖形方面發揮關鍵作用。它能實現復雜和精確的連接，以支持在更小的區域實現更多連接。隨著對更高密度的電路板和更小線寬間距的需求不斷增加，線路必須以高精度和均勻度制成。針對先進應用，各種先進IC載板（ICS），如條狀覆晶-芯片尺寸封裝（FC-CSP）和覆晶芯片球柵陣列（FC-BGA）需要高分辨率和準確度。光刻對于先進IC載板-其特點是單元尺寸大，層數高和細線路-圖形轉移為制造商帶來了新的挑戰，特別是在表面高低不均的情況下成像。IC載板制造商必須制造
鈣鈦礦太陽能電池超薄膜厚度測量應用 — KLA表面輪廓儀2025/03/28
鈣鈦礦材料因其優異的光電特性，近年來一直受到高度關注。相應的鈣鈦礦太陽能電池在柔性太陽能電池領域和疊層太陽能電池領域也有廣泛應用前景。早在2009年，鉛基鈣鈦礦材料第一次被應用到太陽能電池中，其光電轉化效率為3.8%1。近些年來，通過組分調控，界面調制，缺陷優化，能級調整等手段，鈣鈦礦太陽能的光電轉化效率已經提高至26.7%2。而疊加硅基太陽能電池以后，組合而成的疊層太陽能電池器件的光電轉化效率能提高到33.9%2。相關的研究表明，鈣鈦礦太能電池器件的光電轉化率和器件關鍵層的薄膜質量息息相關。所
TOPCon 太陽能電池片的方阻測試— KLA R54 系列2025/03/28
在全球各國努力減少碳足跡與追尋可持續能源的大背景下，太陽能行業經歷了顯著增長。在基于晶體硅(c-Si)的多種工藝路線中，隧穿鈍化接觸太陽能電池(TOPCon)因其高光伏轉換效率(PCE)和高性價比而脫穎而出。目前工業TOPCon電池的最高PCE已達到25.42%（2024年6月JinkoSolar公開數據），接近約29%的理論極限。對于更高PCE的追求同時對工藝控制和監測也是新的挑戰。太陽能電池的性能表現取決于導電性、接觸電阻和復合速率之間的精細平衡，而這些參數都受到摻雜濃度的高度調控，因此監控
等離子清洗機的應用2019/02/13
可用在以下領域：農業育種：（有相關的參考文獻）隨著低溫等離子技術的不斷成熟，近些年等離子體種子處理技術已開始應用于農業育種等方面，這在國內外尚屬新的研究領域。該技術是通過利用等離子體沖刷種子表面，來增強種子的活力，從而使處理過后的農作物從萌發到成熟整個生育周期都具有更強的生長優勢，達到增產、抗逆的目的：明顯提高發芽勢和發芽率，減輕病蟲害，增強抗逆性，生長優勢明顯，促進早熟、增加產量。橡塑行業:利用等離子體技術對聚丙烯、PTFE等這些沒有極性的橡膠塑料材料進行表面處理，這些材料結構表面得以zui大
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