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ERS

德國ERS公司是 擁有強生產能力的開發公司,可實現真正的高產量交付性能目標。ERS的核心技術是為可靠的產品提供的晶圓溫度測試技術,這種技術不僅能滿足客戶需求,而且提供基準開發。德國ERS公司于1970年生產出 個用于晶圓測試的溫度卡盤,并從此引 業界。在80年代末,隨著ERS的SuperCool?問世,自動晶圓探針臺的真正生產中的冷測試成為可能。到90年代早期,ERS轉向了純空氣冷卻系統,改變了人們對其可靠性的期望

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