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中國科學院沈陽科學儀器股份有限公司（以下簡稱 “公司”）創建于1958年，公司總部位于遼寧省沈陽市渾南區，占地面積110畝，建筑面積3.5萬平方米。多年來，公司專注于高真空、超高真空、超潔凈真空技術的研究和發展，是我國集成電路裝備和真空儀器設備的研制、生產基地，先后組建“國家分子束外延技術開發實驗基地”、“國家真空儀器裝置工程技術研究中心”和“真空技術裝備國家工程研究中心” 等科研平臺。